[实用新型]真空镀膜室用的气动门扣机构有效
| 申请号： | 201320142574.3 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203212641U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空镀膜室用的气动门扣机构，包括气缸、摆臂、活动杆和紧扣件，气缸通过气缸固定座固定于真空镀膜室的门体四周侧壁上，摆臂一端与气缸的输出端铰接，摆臂另一端设置紧扣件，活动杆一端与摆臂中部连接，活动杆另一端通过活动座设于气缸固定座一侧。本气动门扣机构主要是针对较大型的真空镀膜室而提出的，其结构轻巧而简单，可根据实际需要设置在门体周围的任意位置上，数量也可根据实际需要而定，使用灵活方便，适用于各种机型的真空镀膜室；本气动门扣机构对其紧扣件和摆臂设置独立的气缸，使气动门扣机构的使用更为方便，运行也稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 气动 机构 | ||
【主权项】：
真空镀膜室用的气动门扣机构，其特征在于，包括气缸、摆臂、活动杆和紧扣件，气缸通过气缸固定座固定于真空镀膜室的门体四周侧壁上，摆臂一端与气缸的输出端铰接，摆臂另一端设置紧扣件，活动杆一端与摆臂中部连接，活动杆另一端通过活动座设于气缸固定座一侧。
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