[实用新型]真空镀膜室用的气动门扣机构有效
| 申请号： | 201320142574.3 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203212641U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 气动 机构 | ||
【权利要求书】：
1.真空镀膜室用的气动门扣机构，其特征在于，包括气缸、摆臂、活动杆和紧扣件，气缸通过气缸固定座固定于真空镀膜室的门体四周侧壁上，摆臂一端与气缸的输出端铰接，摆臂另一端设置紧扣件，活动杆一端与摆臂中部连接，活动杆另一端通过活动座设于气缸固定座一侧。
2.根据权利要求1所述真空镀膜室用的气动门扣机构，其特征在于，所述摆臂一端通过第一铰接轴与气缸的输出端铰接，摆臂另一端通过锁紧螺钉与紧扣件固定连接。
3.根据权利要求1所述真空镀膜室用的气动门扣机构，其特征在于，所述紧扣件为长方体结构，紧扣件的一侧嵌入摆臂的端部并与摆臂固定连接，摆臂闭合时，紧扣件的另一侧贴紧于真空镀膜室的门体正面上。
4.根据权利要求1所述真空镀膜室用的气动门扣机构，其特征在于，所述活动杆一端通过第二铰接轴与摆臂铰接，活动杆另一端通过第三铰接轴与活动座连接，活动座通过固定螺栓固定于气缸固定座一侧。
5.根据权利要求1所述真空镀膜室用的气动门扣机构，其特征在于，所述摆臂的摆动角度为0～90°。
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