[实用新型]真空镀膜室用的气动门扣机构有效
申请号: | 201320142574.3 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN203212641U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 气动 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及玻璃镀膜设备领域,特别涉及一种真空镀膜室用的气动门扣机构。
背景技术
对真空镀膜机的真空室进行抽真空时,为保证抽真空后真空镀膜室内的真空度,一般在真空镀膜室的门体与容器体之间设置门扣机构,以保证门体与容器体之间的密封,从而保证真空镀膜室内的真空度。然而,目前的门扣机构一般设置于真空镀膜室的顶部,门扣机构的结构庞大而复杂,因此使用时不能大量安装于真空镀膜室上,只能设于其顶部,这对较大型的真空镀膜机来说,其真空度并不能得到很好的保证,容易影响真空镀膜室内的镀膜工艺。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种结构轻巧简单,使用方便的真空镀膜室用的气动门扣机构。
本实用新型的技术方案为:一种真空镀膜室用的气动门扣机构,包括气缸、摆臂、活动杆和紧扣件,气缸通过气缸固定座固定于真空镀膜室的门体四周侧壁上,摆臂一端与气缸的输出端铰接,摆臂另一端设置紧扣件,活动杆一端与摆臂中部连接,活动杆另一端通过活动座设于气缸固定座一侧。
所述摆臂一端通过第一铰接轴与气缸的输出端铰接,摆臂另一端通过锁紧螺钉与紧扣件固定连接。
所述紧扣件为长方体结构,紧扣件的一侧嵌入摆臂的端部并与摆臂固定连接,摆臂闭合时,紧扣件的另一侧贴紧于真空镀膜室的门体正面上。
所述活动杆一端通过第二铰接轴与摆臂铰接,活动杆另一端通过第三铰接轴与活动座连接,活动座通过固定螺栓固定于气缸固定座一侧。
所述摆臂的摆动角度为0~90°。
本真空镀膜室用的气动门扣机构使用时,根据真空镀膜室的实际大小,气动门扣机构的数量可以进行调整,气动门扣机构的安装位置也可根据实际需要设于门体的四周。气动门扣机构的启闭原理是:当需要关闭气动门扣机构时,气缸运动使其活塞伸出,带动摆臂向外伸出,该过程由于活动杆的作用,摆臂向门体方向旋转,直至摆臂末端的紧扣件贴紧固定于门体的正面上为止,此时气动门扣机构处于关闭状态;当需要开启气动门扣机构时,气缸运动使其活塞回收,摆臂和活动杆也反向运动,带动紧扣件与门体分离即可。
本实用新型相对于现有技术,具有以下有益效果:
本气动门扣机构主要是针对较大型的真空镀膜室而提出的,其结构轻巧而简单,可根据实际需要设置在门体周围的任意位置上,数量也可根据实际需要而定,使用灵活方便,适用于各种机型的真空镀膜室。
本气动门扣机构对其紧扣件和摆臂设置独立的气缸,使气动门扣机构的使用更为方便,运行也稳定可靠。
附图说明
图1为本气动门扣机构处于关闭状态时的立体结构示意图。
图2为本气动门扣机构处于开启状态时的平面结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图,对本实用新型作进一步的详细说明,但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例
本实施例一种真空镀膜室用的气动门扣机构,如图1或图2所示,包括气缸1、摆臂2、活动杆3和紧扣件4,气缸通过气缸固定座5固定于真空镀膜室的门体6四周侧壁上,摆臂一端与气缸的输出端铰接,摆臂另一端设置紧扣件,活动杆一端与摆臂中部连接,活动杆另一端通过活动座7设于气缸固定座一侧。
摆臂一端通过第一铰接轴与气缸的输出端铰接,摆臂另一端通过锁紧螺钉与紧扣件固定连接。
紧扣件为长方体结构,紧扣件的一侧嵌入摆臂的端部并与摆臂固定连接,摆臂闭合时,紧扣件的另一侧贴紧于真空镀膜室的门体正面上。
活动杆一端通过第二铰接轴与摆臂铰接,活动杆另一端通过第三铰接轴与活动座连接,活动座通过固定螺栓固定于气缸固定座一侧。
摆臂的摆动角度为0~90°。
本真空镀膜室用的气动门扣机构使用时,根据真空镀膜室的实际大小,气动门扣机构的数量可以进行调整,气动门扣机构的安装位置也可根据实际需要设于门体的四周。气动门扣机构的启闭原理是:当需要关闭气动门扣机构时,气缸运动使其活塞伸出,带动摆臂向外伸出,该过程由于活动杆的作用,摆臂向门体方向旋转,直至摆臂末端的紧扣件贴紧固定于门体的正面上为止,此时气动门扣机构处于关闭状态(如图1所示);当需要开启气动门扣机构时,气缸运动使其活塞回收,摆臂和活动杆也反向运动,带动紧扣件与门体分离即可(如图2所示)。
如上所述,便可较好地实现本实用新型,上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例,并非用来限定本实用新型的实施范围;即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰,都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
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