[实用新型]一种测量晶体高度的装置有效
| 申请号： | 201320079914.2 | 申请日： | 2013-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN203144556U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 何育坤;曾向鑫;万永;肖益波;李忠平;朱红娣 | 申请（专利权）人： | 无锡开日能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 杜丹盛 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种测量晶体高度的装置，其既能满足测量晶体高度要求，又能提高测量精度，延长长晶棒的使用寿命。其包括机架，其特征在于：所述机架上设置有直线运动电缸，所述直线运动电缸上设置有施压气缸，所述施压气缸的气缸座紧固于所述直线运动电缸的活塞杆，所述施压气缸的气缸臂的底部紧固连接拉压传感器的上端部，所述拉压传感器的下部紧固连接长晶棒夹持块，所述长晶棒夹持块的侧部嵌装于所述气缸座的直线导轨槽内，所述长晶棒夹持块的夹持端夹装有长晶棒，所述拉压传感器通过数据线连接至电气控制模块，所述直线运动电缸、施压气缸分别通过连接线连接至所述电气控制模块，所述电气控制模块支承于所述机架。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 晶体 高度 装置 | ||
【主权项】：
一种测量晶体高度的装置，其包括机架，其特征在于：所述机架上设置有直线运动电缸，所述直线运动电缸上设置有施压气缸，所述施压气缸的气缸座紧固于所述直线运动电缸的活塞杆，所述施压气缸的气缸臂的底部紧固连接拉压传感器的上端部，所述拉压传感器的下部紧固连接长晶棒夹持块，所述长晶棒夹持块的侧部嵌装于所述气缸座的直线导轨槽内，所述长晶棒夹持块的夹持端夹装有长晶棒，所述拉压传感器通过数据线连接至电气控制模块，所述直线运动电缸、施压气缸分别通过连接线连接至所述电气控制模块，所述电气控制模块支承于所述机架。
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