[实用新型]一种测量晶体高度的装置

说明书

技术领域

    本实用新型涉及多晶硅铸锭炉结构的技术领域，具体为一种多晶硅铸锭炉的顶部加热器及顶部保温板除尘装置。

背景技术

太阳能多晶硅铸锭的生产主要流程分为加热、熔化、长晶、退火和冷却五个阶段。其中熔化阶段将硅料从固体熔化为液体，长晶阶段为从液体生长为固体。为了提高硅片的光电转换效率，在多晶硅铸锭中会采取在坩埚底部预埋籽晶的方法，为了保证籽晶不被完全融掉，需要在熔化过程中，不断测量硅料的熔化情况。在长晶阶段，有时也需要测量晶体的生长情况，来进行工艺改良。在以往，这种测量都需要操作人员手动进行操作。操作人员需要爬上3米多高的平台上，拧开固定长晶棒的螺丝，一手持长晶棒，一手持直尺，由于硅液的温度高达1400℃以上，因此测量时需要迅速进行，对操作人员的要求较高。测量时，全凭操作人员的手感判断是否接触到晶体，因此测量精度无法保证，一般需要连续测量两次。由于操作人员的熟练情况不同，往往会造成由于长晶棒在硅液中停留时间过长，而导致长晶棒断裂的现象发生。

发明内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种测量晶体高度的装置，其既能满足测量晶体高度要求，又能提高测量精度，延长长晶棒的使用寿命。

一种测量晶体高度的装置，其技术方案是这样的：其包括机架，其特征在于：所述机架上设置有直线运动电缸，所述直线运动电缸上设置有施压气缸，所述施压气缸的气缸座紧固于所述直线运动电缸的活塞杆，所述施压气缸的气缸臂的底部紧固连接拉压传感器的上端部，所述拉压传感器的下部紧固连接长晶棒夹持块，所述长晶棒夹持块的侧部嵌装于所述气缸座的直线导轨槽内，所述长晶棒夹持块的夹持端夹装有长晶棒，所述拉压传感器通过数据线连接至电气控制模块，所述直线运动电缸、施压气缸分别通过连接线连接至所述电气控制模块，所述电气控制模块支承于所述机架。

其进一步特征在于：所述数据线、连接线均通过电缆连接器连接至所述电气控制模块。

采用本实用新型的结构后，操作人通过电气控制模块发出测量命令，直线运动电缸驱动长晶棒夹持块带动长晶棒向下运动；拉压传感器检测长晶棒反馈的压力；施压气缸给长晶棒施加压力，以保证测量数据的准确；当长晶棒接触到晶体时，压力发生变化，当拉压传感器检测到压力数值超过设定值时，电气控制模块发返回指令，直线运动电缸带动长晶棒返回原始点；同时电气控制模块根据直线运动电缸运行的距离，计算当前晶体的高度，并在电气控制模块上显示出来，直线运动电缸测量精度可以达到0.1mm；其既能满足测量晶体高度要求，又能提高测量精度，延长长晶棒的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的主视图结构示意图。

具体实施方式

见图1，其包括机架1，机架1上设置有直线运动电缸2，直线运动电缸2上设置有施压气缸3，施压气缸3的气缸座4紧固于直线运动电缸2的活塞杆，施压气缸3的气缸臂5的底部紧固连接拉压传感器6的上端部，拉压传感器6的下部紧固连接长晶棒夹持块7，长晶棒夹持块7的侧部嵌装于气缸座4的直线导轨槽8内，长晶棒夹持块7的夹持端9夹装有长晶棒10，拉压传感器6通过数据线11连接至电气控制模块12，直线运动电缸2、施压气缸3分别通过连接线13、14连接至电气控制模块12，电气控制模块12支承于机架1。数据线11、连接线13、14均通过电缆连接器15连接至电气控制模块12。