[实用新型]扩散炉实验用石英舟

摘要

一种扩散炉实验用石英舟，包括多根立杆，在立杆下部套装有圆形底盘，所述立杆的下端露出圆形底盘，在圆形底盘上表面设有多组框架，在每组框架中框架竖边框内侧设有多个斜卡槽，所述斜卡槽的底面倾斜且倾角为45°，在每个立杆上设有多个弧形卡槽，位于不同高度的斜卡槽及位于不同高度的弧形卡槽的宽度不相等。由于斜卡槽、弧形卡槽的宽度不等，可放置不同形状、厚度的硅晶片，试验成本低，且固定牢固可靠，结果准确。由于设有直径大于硅晶片的圆形底盘，气体的流速被大大降低，降低了杂质源的消耗，成本低。由于每两个框架上下平行布置成为一组，且同组内的两个框架，其斜卡槽位于同一平面内，适用于不同大小的方形硅晶片，适用范围广。

主权项

一种扩散炉实验用石英舟，包括多根立杆，其特征是：在立杆下部套装有圆形底盘，所述立杆的下端露出圆形底盘，在圆形底盘上表面设有多组框架，每组由两个前后平行布置的框架构成，在每组框架竖边框内侧上下对应位置设有多个斜卡槽，所述斜卡槽的底面由外向内倾斜且倾角为45°，同组框架内的前后对应的斜卡槽分别位于同一平面内，在每个立杆上位于框架上方位置设有多个上下对应的弧形卡槽，对应同一高度的弧形卡槽位于同一个圆弧面上，位于不同高度的斜卡槽及位于不同高度的弧形卡槽的宽度不相等。