[实用新型]扩散炉实验用石英舟有效
| 申请号： | 201320041979.8 | 申请日： | 2013-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN203038902U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 陆晓东;伦淑娴;周涛;张明;王月 | 申请（专利权）人： | 渤海大学 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C30B31/14 |
| 代理公司： | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 121000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 实验 石英 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散炉实验用石英舟，包括多根立杆，其特征是：在立杆下部套装有圆形底盘，所述立杆的下端露出圆形底盘，在圆形底盘上表面设有多组框架，每组由两个前后平行布置的框架构成，在每组框架竖边框内侧上下对应位置设有多个斜卡槽，所述斜卡槽的底面由外向内倾斜且倾角为45°，同组框架内的前后对应的斜卡槽分别位于同一平面内，在每个立杆上位于框架上方位置设有多个上下对应的弧形卡槽，对应同一高度的弧形卡槽位于同一个圆弧面上，位于不同高度的斜卡槽及位于不同高度的弧形卡槽的宽度不相等。
2.根据权利要求1所述的扩散炉用石英舟，其特征是：所述立杆有四根，且相邻立杆的对应端通过连接筋连接。
3.根据权利要求1所述的扩散炉用石英舟，其特征是：每个框架竖边框的斜卡槽的数量为4～6个，每个立杆上的弧形卡槽的数量为4～6个。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
