[实用新型]一种碳化硅晶体生长用感应线圈绝缘支架

摘要

本实用新型涉及一种碳化硅晶体生长用感应线圈绝缘支架，所述感应线圈由铜线螺旋盘绕而成，所述绝缘支架上设有竖直排列的螺孔，所述螺孔通过螺钉与每一层感应线圈固定连接在一起，所述每一层感应线圈之间排列有支撑块，所述螺孔之间的孔间距与所述支撑块的高度相对应，使所述支撑块卡于每一层感应线圈之间。本实用新型通过配备高度不同的支撑块和更换孔间距不同的绝缘支架，在一定量范围内可调节感应线圈匝间距，不用拆卸感应线圈水路部分就完成感应线圈间距调节，同时保证感应线圈匝间距偏差很小，通电后线圈内部利于产生均匀的磁场。

主权项

一种碳化硅晶体生长用感应线圈绝缘支架，其特征在于，所述感应线圈（1）由铜线螺旋盘绕而成，所述绝缘支架（2）上设有竖直排列的螺孔（4），所述螺孔（4）通过螺钉与每一层感应线圈（1）固定连接在一起，所述每一层感应线圈（1）之间设有支撑块（3），所述螺孔（4）之间的孔间距与所述支撑块（1）的高度相对应，使所述支撑块（3）卡于每一层感应线圈（1）之间。