[发明专利]升降系统及等离子体加工设备

摘要

本发明提供的升降系统及等离子体加工设备，其包括托架，在托架上表面上且沿其周向间隔均匀设置有至少三个顶针，基座位于托架的上方，驱动单元驱动基座上升或者下降，沿托架的周向间隔且均匀设置有至少三个支撑轴，每个支撑轴自托架的下表面贯穿托架，且托架可沿支撑轴进行上下移动，在每个支撑轴的外周壁上套置有弹性部件，且弹性部件位于托架和支撑轴的底端之间，在基座与托架接触时，借助驱动单元驱动基座下降可实现带动托架下降，并使弹性部件的高度在弹性范围内压缩；并借助驱动单元驱动基座上升使弹性部件的高度恢复，以实现托架在弹性部件高度恢复的恢复力下上升。其可以降低生产成本、提高工作效率；而且可以提高基片传输的稳定性。

主权项

一种升降系统，包括托架、基座和驱动单元，在所述托架的上表面上且沿其周向间隔均匀设置有至少三个顶针，用于承载基片；所述基座位于所述托架的上方，所述驱动单元用于驱动所述基座上升或者下降，其特征在于，还包括沿所述托架的周向间隔且均匀设置的至少三个支撑轴，每个所述支撑轴自所述托架的下表面贯穿所述托架，且所述托架可沿所述支撑轴进行上下移动，在每个所述支撑轴的外周壁上套置有弹性部件，且所述弹性部件位于所述托架和所述支撑轴的底端之间，并且在所述基座与所述托架接触时，借助所述驱动单元驱动所述基座下降可实现带动所述托架下降，并使所述弹性部件的高度在弹性范围内压缩；并借助所述驱动单元驱动所述基座上升使所述弹性部件的高度恢复，以实现所述托架在所述弹性部件高度恢复的恢复力下上升。