[发明专利]一种用于图像传感器的结构的制造方法

摘要

本发明公开了一种用于图像传感器的结构的制造方法，其包括在衬底上形成多个像素单元的光电二极管、MOS晶体管和悬浮漏极；形成接触孔和第一层金属互连线，所述第一层金属互连线包括通过所述接触孔与所述MOS晶体管和所述悬浮漏极电连接的部分；可选择地形成第一通孔及第二层金属互连线，其中所述第二层金属互连线未和所述第一层金属互连线与所述悬浮漏极电连接的部分相连；以及形成第二通孔及第三层金属互连线，其中所述第二通孔位于所述第一层金属互连线与所述悬浮漏极电连接的部分的正上方，所述第三层金属互连线通过所述第二通孔与所述第二通孔下方的金属互连线电连接。本发明可实现图像传感器常规像素阵列的复用。

主权项

1.一种用于图像传感器的结构的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：在衬底上形成多个像素单元，每一所述像素单元包括光电二极管、传输管、行选管、复位管、源极跟随管和悬浮漏极，所述多个像素单元的悬浮漏极互不直接相连；步骤S2：形成接触孔和第一层金属互连线，所述第一层金属互连线包括第一部分，所述第一层金属互连线的第一部分通过所述接触孔将每一所述像素单元的悬浮漏极、复位管的源极以及源极跟随管的栅极电连接；步骤S3：形成第二通孔及第三层金属互连线，其中所述第二通孔位于所述第一层金属互连线的第一部分的正上方，所述第三层金属互连线通过所述第二通孔与所述第一层金属互连线的第一部分电连接，以将所述多个像素单元的悬浮漏极并联引出。