[发明专利]大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置

摘要

大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置，涉及一种大口径KDP晶体元件表面微缺陷搜寻与修复装置。以解决目前无对大口径KDP晶体元件表面的微缺陷进行快速搜寻及微铣削修复的装置问题。底部大平板上固定放置有整体平台装配总成，底部平台装配总成固定在整体平台装配总成上，晶体移动平台装配体固定在整体平台装配总成上，晶体显微镜移动平台固定在整体平台装配总成上；第一、二拖链通过导轨拖链连接块与晶体移动平台装配体连接，晶体显微镜移动平台支架的下部与整体平台装配总成的上端面连接，晶体显微镜移动平台安装于晶体显微镜移动平台支架上。本发明用于大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复。

主权项

一种大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置，其特征在于：它包括晶体移动平台装配体（101）、整体平台装配总成（102）、底部平台装配总成（103）、晶体显微镜移动平台（104）、底部大平板（116）、第一拖链（117）、第二拖链（118）、导轨拖链连接块（119）、第二拖链限位块（120）及晶体显微镜移动平台支架（121）；所述底部大平板（116）水平设置，底部大平板（116）上固定放置有整体平台装配总成（102），底部平台装配总成（103）固定在整体平台装配总成（102）上，晶体移动平台装配体（101）固定在整体平台装配总成（102）上表面，晶体显微镜移动平台（104）的下端固定在整体平台装配总成（102）的上端面；所述第一拖链（117）和第二拖链（118）各通过一个导轨拖链连接块（119）与晶体移动平台装配体（101）连接，第一拖链（117）和第二拖链（118）水平垂直设置，第二拖链限位块（120）固定在晶体移动平台装配体（101）上且位于第二拖链（118）的外侧面处，晶体显微镜移动平台支架（121）的下部与整体平台装配总成（102）的上端面连接，晶体显微镜移动平台（104）安装于晶体显微镜移动平台支架（121）上。