[发明专利]大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置

权利要求书

1.一种大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置，其特征在于：它包括晶体移动平台装配体（101）、整体平台装配总成（102）、底部平台装配总成（103）、晶体显微镜移动平台（104）、底部大平板（116）、第一拖链（117）、第二拖链（118）、导轨拖链连接块（119）、第二拖链限位块（120）及晶体显微镜移动平台支架（121）；所述底部大平板（116）水平设置，底部大平板（116）上固定放置有整体平台装配总成（102），底部平台装配总成（103）固定在整体平台装配总成（102）上，晶体移动平台装配体（101）固定在整体平台装配总成（102）上表面，晶体显微镜移动平台（104）的下端固定在整体平台装配总成（102）的上端面；所述第一拖链（117）和第二拖链（118）各通过一个导轨拖链连接块（119）与晶体移动平台装配体（101）连接，第一拖链（117）和第二拖链（118）水平垂直设置，第二拖链限位块（120）固定在晶体移动平台装配体（101）上且位于第二拖链（118）的外侧面处，晶体显微镜移动平台支架（121）的下部与整体平台装配总成（102）的上端面连接，晶体显微镜移动平台（104）安装于晶体显微镜移动平台支架（121）上。

2.根据权利要求1所述大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置，其特征在于：所述晶体移动平台装配体（101）包括气浮框架（30）、X轴直线单元（31）、步进电机（32）、X轴导轨连接板（10）、Y轴导轨托盘（33）、Y轴直线单元（12）、Y轴导轨连接板（14）及两组柔性铰链（3）；所述X轴直线单元（31）固定在精密平台上表面，所述X轴导轨连接板（10）固定在X轴直线单元（31）的运动部件上；步进电机（32）驱动X轴直线单元（31）的运动部件做直线运动，所述Y轴导轨连接板（14）固定在Y轴直线单元（12）的运动部件上；Y轴直线单元（12）固定在Y轴导轨托盘（33）中，Y轴导轨托盘（33）一端面与X轴导轨连接板（10）的一侧面定位并连接，Y轴导轨托盘（33）另一端为气浮端，Y轴直线单元（12）的运动轴线与X轴直线单元（31）的运动轴线在X、Y平面的投影垂直；所述气浮框架（30）设置在精密平台上表面，且气浮框架（30）的一侧面通过两组柔性铰链（3）与Y轴导轨连接板（14）的一侧面连接，气浮框架（30）的X向对称面与Y轴直线单元（12）的运动轴线垂直。

3.根据权利要求2所述大口径KDP晶体元件表面微缺陷快速搜寻与微铣削修复装置，其特征在于：所述气浮框架（30）包括晶体框（1）、两个压紧块（6）、两个锁紧块（9）、两个定位块（15）、五个连接耳（20）、三个球铰螺柱一（13）及三个气浮垫一（11）；所述晶体框（1）为水平设置的矩形框，两组柔性铰链（3）与晶体框（1）的同一任意外侧面固接，晶体框（1）的其余三个外侧面上固定有五个连接耳（20），晶体框（1）的其中两个相对内侧面各固定有一个定位块（15），两个定位块（15）上分别设有一定位面（15-1），两个定位面（15-1）设置在同一竖直面内，大口径光学元件（40）整体放置在晶体框（1）内部，并通过所述两个定位块（15）的两个定位面（15-1）定位；晶体框（1）内与每个定位块（15）的相同侧设置有一个锁紧块（9），两个锁紧块（9）与晶体框（1）固接，两个锁紧块（9）相对设置，锁紧块（9）内与所述定位面（15-1）相垂直方向设有螺孔一，定位螺钉一旋入锁紧块（9）的螺孔一内，大口径光学元件（40）预夹紧固定于两个定位螺钉一及两个定位块（15）之间；晶体框（1）内位于每个定位块（15）的同侧设置有一个压紧块（6），压紧块（6）与晶体框（1）固接，每个压紧块（6）上沿竖向设有螺孔二，定位螺钉二旋入螺纹孔二内并抵靠在晶体框（1）上，大口径光学元件（40）通过压紧块（6）竖向压紧固定；三个球铰螺柱一（13）与五个连接耳（20）中的任意三个连接耳（20）固接，每个球铰螺柱一（13）的球端与相对应的气浮垫一（11）上端面接触；所述Y轴导轨托盘（33）所述另一端的上端设有沿Y轴导轨托盘（33）长度方向延伸的平台，所述平台与球铰螺柱二（34）固接，球铰螺柱二（34）的球端与气浮垫二（35）上端面接触。