[发明专利]平板显示用显影液组合物有效
申请号: | 201310744140.5 | 申请日: | 2013-12-30 |
公开(公告)号: | CN103728845A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 梁晓;唐洪;田博 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 关畅 |
地址: | 100084 北京市10*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明公开了一种平板显示用显影液组合物。该组合物包括如下各组分:式I所示有机胺类化合物、式II所示非离子表面活性剂、有机溶剂和水。该显影液在拥有优异的显影性能的同时还具有低泡沫和对彩色光阻具有良好的分散稳定性,有效降低膜渣的形成且无金属离子残留,显影性能好、无残渣、操作温度范围宽、环境污染少等特点,在感光性树脂的显影制备工艺中,具有广泛应用。 |
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搜索关键词: | 平板 显示 显影液 组合 | ||
【主权项】:
1.一种显影液组合物,包括如下各组分:式I所示有机胺类化合物、式II所示非离子表面活性剂、有机溶剂和水;
所述式I中,R1、R2和R3均选自-H、-OH和-R-OH中的任意一种;且R1、R2和R3中至少一个为-R-OH;所述-R-OH中,R选自-CH2-、-C2H4-和-C3H6-中的任意一种;
所述式II中,R4和R5均选自-CH2-、-C2H4-和-C3H6-中的任意一种;R6选自氢、-CH3、-C2H5和-C3H7中的任意一种;m为5~18的整数。
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