[发明专利]一种CrNx基成分梯度过渡的装饰防护涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201310740302.8 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103741108A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 马胜利;梁智涛 | 申请（专利权）人： | 晨光真空技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人： | 李郑建 |
| 地址： | 518111 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CrNx基成分梯度过渡的装饰防护涂层的制备方法，采用三对平面Cr靶作为相应Cr元素的来源，三对平面Cr靶均匀安装在离子源增强磁控溅射离子镀膜设备的内壁上，通过调整中频脉冲电源的电流控制上述三对平面Cr靶的溅射率；采用一个阳极层气体离子源，以提高气体的离化率和反应粒子的能量；采用高纯Ar作为靶材溅射气体；采用高纯N2作为反应气体，通过阳极层气体离子源后使其离化并与靶材溅射下来的Cr粒子结合，在样品表面沉积形成三层结构的Cr底层/CrNx基梯度过渡层/CrN外层。具有表面光滑致密，涂层的显微硬度为Hv800，膜基结合力达到80N，当摩擦副为Al2O3球时，CrNx基涂层的干摩擦系数为0.35，中性盐雾实验的耐蚀性超过672小时。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 crnx 成分 梯度 过渡 装饰 防护 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种CrNx基成分梯度过渡的装饰防护涂层的制备方法，其特征在于，该方法采用三对平面Cr靶作为相应Cr元素的来源，三对平面Cr靶均匀安装在离子源增强磁控溅射离子镀膜设备的内壁上，通过调整中频脉冲电源的电流控制上述三对平面Cr靶的溅射率；采用一个阳极层气体离子源，以提高气体的离化率和反应粒子的能量；采用高纯Ar作为靶材溅射气体；采用高纯N2作为反应气体，通过阳极层气体离子源后使其离化并与靶材溅射下来的Cr粒子结合，在样品表面沉积形成三层结构的Cr底层/CrNx基梯度过渡层/CrN外层。
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