[发明专利]OLED蒸镀机的蒸发源组件有效
| 申请号： | 201310739659.4 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103741096A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 邹清华 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种OLED蒸镀机的蒸发源组件，包括：承载平台（2）、设于承载平台（2）上的数个蒸镀坩埚（4）及设于承载平台（2）上的疏通机构（6），所述疏通机构（6）包括竖臂（62）、垂直连接于竖臂（62）一端的横臂（64）及垂直连接于横臂（64）自由端的探针（66），所述竖臂（62）可伸缩设置于承载平台（2）上，且相对承载平台（2）可旋转，通过横臂（64）与竖臂（62）控制探针（66）对蒸镀坩埚（4）的出气口进行疏通。本发明的OLED蒸镀机的蒸发源组件，通过设置疏通机构，能在不打开蒸镀机腔体的情况下对蒸镀坩埚的出气孔进行疏通，节省时间，有效提高疏通效率，提高了蒸镀机的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | oled 蒸镀机 蒸发 组件 | ||
【主权项】：
一种OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，包括：承载平台（2）、设于承载平台（2）上的数个蒸镀坩埚（4）及设于承载平台（2）上的疏通机构（6），所述疏通机构（6）包括竖臂（62）、垂直连接于竖臂（62）一端的横臂（64）及垂直连接于横臂（64）自由端的探针（66），所述竖臂（62）可伸缩设置于承载平台（2）上，且相对承载平台（2）可旋转，通过横臂（64）与竖臂（62）控制探针（66）对蒸镀坩埚（4）的出气口进行疏通。
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