[发明专利]OLED蒸镀机的蒸发源组件

权利要求书

1.一种OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，包括：承载平台（2）、设于承载平台（2）上的数个蒸镀坩埚（4）及设于承载平台（2）上的疏通机构（6），所述疏通机构（6）包括竖臂（62）、垂直连接于竖臂（62）一端的横臂（64）及垂直连接于横臂（64）自由端的探针（66），所述竖臂（62）可伸缩设置于承载平台（2）上，且相对承载平台（2）可旋转，通过横臂（64）与竖臂（62）控制探针（66）对蒸镀坩埚（4）的出气口进行疏通。

2.如权利要求1所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述竖臂（62）包括第一竖部（622）及连接第一竖部（622）的第二竖部（624），所述第一竖部（622）可旋转安装于所述承载平台（2）上，所述第二竖部（624）可相对第一竖部（622）做伸缩运动，所述横臂（64）连接于第二竖部（624）的自由端。

3.如权利要求2所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述横臂（64）包括连接第二竖部（624）的第一横部（642）及连接第一横部（642）的第二横部（644），所述第二横部（644）可相对第一横部（642）做伸缩运动，所述探针（66）安装于所述第二横部（644）的自由端。

4.如权利要求3所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述旋转、伸缩运动通过伺服电机或气动阀实现。

5.如权利要求2所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述疏通机构（6’）的个数对应所述蒸镀坩埚（4）的个数设置；所述横臂（64’）包括连接第二竖部（624）的第三横部（646），所述探针（66）安装于所述第三横部（646）的自由端。

6.如权利要求3所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述疏通机构（6’’）还包括基座（68），该基座（68）安装于承载平台（2’）上，所述竖臂（62）可滑动安装于所述基座（68）上，且该竖臂（62）相对于所述基座（68）可旋转设置。

7.如权利要求6所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述基座（68）上设有滑槽（682），所述竖臂（62）上相对所述滑槽（682）设有滑块（626），所述滑块（626）在滑槽（682）中滑动，带动所述竖臂（62）相对所述基座（68）滑动。

8.如权利要求7所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述滑动通过伺服电机实现。

9.如权利要求1所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，所述疏通机构（6）还包括设于横臂（64）自由端的光源与图像传感器，用于观察蒸镀坩埚（4）出气口的堵塞与疏通状况。

10.如权利要求9所述的OLED蒸镀机的蒸发源组件，其特征在于，还包括电性连接图像传感器的显示装置。