[发明专利]OLED蒸镀机的蒸发源组件

说明书

技术领域

本发明涉及蒸镀制程领域，尤其涉及一种OLED蒸镀机的蒸发源组件。

背景技术

OLED作为新一代的固态自发光显示技术，相较于液晶显示具有超薄、响应度高、对比度高、功耗低等优势，近几年产业化速度突飞猛进。三星已经把AMOLED显示屏应用于自家的智能手机上，获得了非常好的市场。

请参阅图1，为现有的一种OLED的结构示意图，其包括：基板100、形成于基板100上的OLED器件300及与基板100贴合设置的封装盖板500，所述OLED器件300包括形成于基板100上的阳极302、形成于阳极302上的有机功能层304及形成于有机功能层304上的阴极306，阳极302与阴极306激发有机功能层304以实现显示。

OLED的有机功能层，一般由三个功能层构成，分别为空穴传输功能层（Hole Transport Layer，HTL）、发光功能层（Emissive Layer，EML）、电子传输功能层（Electron Transport Layer，ETL）。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，有时可以细分为空穴注入层和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层，但其功能相近，故统称为空穴传输功能层，电子传输功能层。

目前OLED的主流的制备技术和方法是蒸镀法，即在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属光罩的开孔沉积在玻璃基板上。

OLED器件各层的厚度和掺杂比例对器件性能的影响很大，为了使沉积在基板各处的有机材料膜厚和掺杂比例均匀，点蒸发源的蒸镀机的构造是让基板在转动状态下沉积有机材料。但是点蒸发源的蒸镀机材料利用率很低，约5%。后续开发的线蒸发源的蒸镀机不但使有机材料膜厚的均一性更好，而且材料利用率提高到约20%。

不管是点蒸发源的蒸镀机还是线蒸发源的蒸镀机都会出现材料堵孔的几率和现象。蒸发源由于坩埚、温度、材料等原因，有机材料蒸汽在出气口冷凝，逐渐堵住出气口，导致速率逐渐减低，直至完全堵住；由于长时间镀膜，挡板（source shutter）上沉积的有机材料会逐渐变厚，有时会成片剥落，若刚好落在出气口上，会直接挡住有机材料蒸汽。造成局部的有机材料膜厚或者掺杂比例异常，从而导致OLED效率和光色异常。这种情况下，只能把OLED材料降温至室温，再打开蒸镀机腔体，处理完塞孔的蒸发源后，再关上蒸镀机腔体，抽真空至1.0E-5Pa，才能开始加热有机材料，使其镀膜速率稳定，通常这一流程需要耗费几十小时，对生产计划有严重的影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种OLED蒸镀机的蒸发源组件，其能在不打开蒸镀机腔体的情况下对蒸发源出气口进行疏通，极大地缩短了疏通时间，提高了蒸镀机的利用率。

为实现上述目的，本发明提供一种OLED蒸镀机的蒸发源组件，包括：承载平台、设于承载平台上的数个蒸镀坩埚及设于承载平台上的疏通机构，所述疏通机构包括竖臂、垂直连接于竖臂一端的横臂及垂直连接于横臂自由端的探针，所述竖臂可伸缩设置于承载平台上，且相对承载平台可旋转，通过横臂与竖臂控制探针对蒸镀坩埚的出气口进行疏通。

所述竖臂包括第一竖部及连接第一竖部的第二竖部，所述第一竖部可旋转安装于所述承载平台上，所述第二竖部可相对第一竖部做伸缩运动，所述横臂连接于第二竖部的自由端。

所述横臂包括连接第二竖部的第一横部及连接第一横部的第二横部，所述第二横部可相对第一横部做伸缩运动，所述探针安装于所述第二横部的自由端。

所述旋转、伸缩运动通过伺服电机或气动阀实现。

所述疏通机构的个数对应所述蒸镀坩埚的个数设置；所述横臂包括连接第二竖部的第三横部，所述探针安装于所述第三横部的自由端。

所述疏通机构还包括基座，该基座安装于承载平台上，所述竖臂可滑动安装于所述基座上，且该竖臂相对于所述基座可旋转设置。

所述基座上设有滑槽，所述竖臂上相对所述滑槽设有滑块，所述滑块在滑槽中滑动，带动所述竖臂相对所述基座滑动。

所述滑动通过伺服电机实现。

所述疏通机构还包括设于横臂自由端的光源与图像传感器，用于观察蒸镀坩埚出气口的堵塞与疏通状况。

还包括电性连接图像传感器的显示装置。