[发明专利]一种金刚石膜活塞销挤压冲头的制作方法

摘要

本发明公开了一种金刚石膜活塞销挤压冲头的制作方法，包括如下步骤：清洗干燥、预处理、抛研工件、用热丝CVD沉积设备形核、生长、沉积涂层金刚石膜。使用本发明的金刚石膜涂层挤压冲头比使用普通高工钢冲头使用寿命和效率可以提高8‑10倍；比NCr涂层的硬质合金冲头使用寿命和效率可以提高5‑8倍。

主权项

1.一种金刚石膜活塞销挤压冲头的制作方法，其特征在于包括如下步骤：第一步：清洗干燥:用无水‑乙醚清洗去除工件表面防锈油，然后将清洗的工件放入恒温干燥箱，在1min内干燥，温度控制在50‑60℃；第二步：预处理：用预处理溶液在超声波清洗机中刻蚀工件表面即进行“预处理”50‑60min，烘干,用以增加金刚石膜沉积的成核密度；所述预处理溶液是：Na2 FeO4、氢氧化钾、水按重量比1:2:20的比例配制而成；第三步：抛研工件：用W6金刚石微粉抛研上步预处理后的工件，使基体在涂层金刚石膜之前形成框架基础；第四步：操作设备：将上步工件置于热丝CVD沉积设备基片台上，将热丝CVD沉积设备抽真空30‑40min，至热偶计显示真空度为5‑6Pa，将热丝逐步加热至2400‑2600℃；输入C、H、Ar分别至1‑2Pa,对热丝及腔体和工件加热；第五步：形核阶段：上步加热完成后，将热丝逐步加热至2800℃，输入C、H、Ar分别至1‑2Pa，调节真空压力至100KPa，形核时间50min；第六步：生长、沉积阶段：上步形核完成后，将热丝逐步加热至3000℃，同时输入H、CH4‑H2和Ar按1：1：1体积比形成混合气源输入腔室，对工件加负偏压4A，调节真空压力至110KPa，沉积8‑10小时，金刚石膜沉积完毕。