[发明专利]感光性组合物与光刻胶有效
| 申请号： | 201310730591.3 | 申请日： | 2013-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104423166B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 林显光;陈素梅;郑昭德;刘玉玲;陈素惠 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种感光性组合物与光刻胶。光刻胶由一感光性组合物经配制而形成。感光性组合物包括一粘合剂(binder agent)、一第一光反应单体(photomonomer)以及一光引发剂。粘合剂的化学结构具有表示如下的重复单元(repeating unit)I： |
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| 搜索关键词： | 感光性 组合 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种感光性组合物，包括：一丙烯酸酯系粘合剂,所述粘合剂的化学结构具有表示如下的重复单元I：![]()
其中R1为H或CH3，R2为C2～C4的亚烷基，n为2～40的整数，A为H；一第一光反应单体，所述第一光反应单体的化学结构以化学式表示如下：![]()
其中R1为H或CH3，n为2～40的整数，m为2～6的整数，B为多官能基主体，以所述粘合剂的固含量为100重量份为基准，所述第一光反应单体为25～95重量份；以及一光引发剂，以所述粘合剂的固含量为100重量份为基准，所述光引发剂为0.5～15重量份。
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