[发明专利]步进石英舟在审
| 申请号： | 201310724124.X | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN104733360A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 陈瑜;王黎;陈华伦 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种步进石英舟，该石英舟采用步进式结构，石英舟的舟槽间距由炉管内里到炉口逐渐增大。本发明通过调整石英舟的舟槽间距，确保了石英舟上装载的晶圆在炉管的不同位置都能与外界氛围充分接触；同时，舟槽与垂直方向成一定角度倾斜，避免了相邻晶圆搭片，如此改善了炉管内里和炉口的掺杂或氧化的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 步进 石英 | ||
【主权项】：
步进石英舟，其特征在于，该石英舟采用步进式结构，石英舟的舟槽间距由炉管内里到炉口逐渐增大。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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