[发明专利]基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘

摘要

一种基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，包括单晶硅衬底、铜基复合薄膜、柔顺机构和压电叠堆驱动器；柔顺机构设有形变位移输入部、形变位移输出部和定位槽；压电叠堆驱动器固定夹持在形变位移输入部上方的镂空处，并且与形变位移输入部紧密贴合；位于上层的铜基复合薄膜与位于下层的单晶硅衬底通过环氧结构粘结胶粘接组装成薄膜微泵，该薄膜微泵卡入柔顺机构的定位槽内并粘接密封，形变位移输出部的下端面与铜基复合薄膜的上平面贴合并粘接；柔顺机构将压电叠堆驱动器通电后产生的单向形变位移放大传动到铜基复合薄膜，驱动薄膜微泵工作，抽取设于单晶硅衬底下部的吸附腔内的气体，形成吸盘的负压。本发明体积小、重量轻、无噪声，可作为爬壁机器人的吸附装置。

主权项

一种基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：所述吸盘包括单晶硅衬底、铜基复合薄膜、柔顺机构和压电叠堆驱动器；所述柔顺机构上部的中央设有与所述压电叠堆驱动器紧密贴合的形变位移输入部，下部的中央设有形变位移输出部，该柔顺机构的底部设有定位槽；所述压电叠堆驱动器固定夹持在所述形变位移输入部上方的镂空处，并且在通电后产生单向形变位移；位于上层的铜基复合薄膜与位于下层的单晶硅衬底通过环氧结构粘结胶粘接组装成薄膜微泵，该薄膜微泵卡入并粘接密封于所述柔顺机构的定位槽内，该柔顺机构的形变位移输出部的下端面与所述铜基复合薄膜的上平面贴合并粘接，所述单晶硅衬底的下部设有吸附腔，该吸附腔周边的单晶硅衬底的底面为吸盘吸附接触面，该吸盘吸附接触面涂刷有有机硅涂层材料；所述柔顺机构将所述压电叠堆驱动器产生的单向形变位移放大传动到所述铜基复合薄膜，驱动所述薄膜微泵工作，抽取所述吸附腔内的气体，形成所述吸盘的负压。