[发明专利]基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘

权利要求书

1.一种基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：所述吸盘包括单晶硅衬底、铜基复合薄膜、柔顺机构和压电叠堆驱动器；

所述柔顺机构上部的中央设有与所述压电叠堆驱动器紧密贴合的形变位移输入部，下部的中央设有形变位移输出部，该柔顺机构的底部设有定位槽；

所述压电叠堆驱动器固定夹持在所述形变位移输入部上方的镂空处，并且在通电后产生单向形变位移；

位于上层的铜基复合薄膜与位于下层的单晶硅衬底通过环氧结构粘结胶粘接组装成薄膜微泵，该薄膜微泵卡入并粘接密封于所述柔顺机构的定位槽内，该柔顺机构的形变位移输出部的下端面与所述铜基复合薄膜的上平面贴合并粘接，所述单晶硅衬底的下部设有吸附腔，该吸附腔周边的单晶硅衬底的底面为吸盘吸附接触面，该吸盘吸附接触面涂刷有有机硅涂层材料；

所述柔顺机构将所述压电叠堆驱动器产生的单向形变位移放大传动到所述铜基复合薄膜，驱动所述薄膜微泵工作，抽取所述吸附腔内的气体，形成所述吸盘的负压。

2.根据权利要求1所述的基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：所述的柔顺机构为左右对称的构件，其包括圆形的底盘、连接于该底盘上部的支撑外框和连接于该支撑外框内壁的并联的两传动支链；所述两传动支链具有两级杠杆传动功能且结构对称相同，其各自包括6个柔性铰链，该两传动支链的上端分别与所述形变位移输入部连接，下端分别与所述形变位移输出部连接。

3.根据权利要求2所述的基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：在所述的柔性铰链中，与所述支撑外框相连接的柔性铰链为传动杠杆的支点，其余的柔性铰链为位移传输的转动副。

4.根据权利要求2所述的基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：所述的定位槽设置于所述底盘的底部，该定位槽为圆形凹槽，其槽底开设有贯通该底盘的圆形通孔，所述底盘的侧偏位置上设有出气孔；所述形变位移输出部为一圆柱体且位于所述柔顺机构的对称中心轴上，该圆柱体伸入所述底盘的圆形通孔中且下端面与所述定位槽的槽底平面齐平；所述形变位移输入部为一刚性质块且位于所述柔顺机构的对称中心轴上，与其相对的上方为夹持部，所述压电叠堆驱动器夹固于该夹持部与形变位移输入部之间的镂空处。

5.根据权利要求4所述的基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：所述的夹持部的两侧设有U型槽。

6.根据权利要求4所述的基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：在所述的铜基复合薄膜的侧偏位置上设有一与所述底盘出气孔位置相对应且相通的偏心圆孔。

7.根据权利要求6所述的基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：所述的单晶硅衬底的上部设有圆槽形的泵腔，该泵腔的一侧通过出口锥形管连接一出气圆槽，该出气圆槽与所述铜基复合薄膜的偏心圆孔位置相对应且相通，该泵腔的另一侧通过入口锥形管连接一进气孔，该进气孔与所述单晶硅衬底下部的吸附腔相通。

8.根据权利要求7所述的基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：所述的入口锥形管的大口通向所述泵腔，所述出口锥形管的大口通向所述出气圆槽，以控制气体作由所述吸附腔通过泵腔向所述出气孔的定向流动。

9.根据权利要求7所述的基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：所述的吸附腔为圆形凹槽，其与所述泵腔同轴且半径尺寸大于该泵腔。

10.根据权利要求1或6所述的基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，其特征是：所述的铜基复合薄膜采用气相沉积法在表面光滑平整的圆形紫铜箔两面喷涂高分子聚合物派瑞林而制成。