[发明专利]一种栅金属结构及其制造方法在审
| 申请号： | 201310702272.1 | 申请日： | 2013-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103700699A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 徐向阳 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L21/28 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种栅金属结构及其制造方法，其中栅金属结构包括：衬底和铜金属层；设置在所述衬底与铜金属层之间的阻挡层，所述阻挡层为氮氧化硅SiON或氧化硅SiOx。本发明通过在衬底与铜金属层之间设置SiON或SiOx阻挡层，使得在采用铜作为导电金属层材料时能够提高其电导率和黏附性，并降低铜的扩散性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种栅金属结构，其特征在于，包括：衬底和铜金属层；设置在所述衬底与铜金属层之间的阻挡层，所述阻挡层为氮氧化硅SiON或氧化硅SiOx。
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