[发明专利]用于基板的支撑装置及其运送基板的方法

摘要

本发明提供一种用于基板的支撑装置及其运送基板的方法，该支撑装置包括基台和撑脚结构，该撑脚结构包括：多个第一撑脚，包括位于装载台位以第一高度竖直设置于基台上的状态，用于支撑基板的中部区域；多个第二撑脚，在第一撑脚的外围分布设置，包括位于装载台位以第二高度竖直设置于基台上的状态，用于支撑基板的边缘区域，其中第二高度小于等于第一高度；控制结构，用于分别控制第一撑脚和第二撑脚在装载台位与固定台位之间的移动。本发明通过在第一撑脚的外围设置第二撑脚，同时第二撑脚与第一撑脚的升起和降落高度及过程可以分别被控制，能够解决现有技术基板固定于或抬离基台时产生边缘下垂及被固定台位划伤形成印花斑点的问题。

主权项

一种用于基板的支撑装置，包括基台和撑脚结构，通过撑脚结构支撑基板从装载台位移动至固定台位，并通过撑脚结构将基板从固定台位移动至装载台位，其特征在于，所述撑脚结构包括：多个第一撑脚，包括位于所述装载台位以第一高度竖直设置于基台上的状态，用于支撑基板的中部区域；多个第二撑脚，在所述第一撑脚的外围分布设置，包括位于所述装载台位以第二高度竖直设置于基台上的状态，用于支撑基板的边缘区域，其中所述第二高度小于等于所述第一高度；控制结构，用于分别控制所述第一撑脚和所述第二撑脚在所述装载台位与所述固定台位之间的移动，其中当所述第一撑脚和所述第二撑脚到达所述装载台位，基板放置于所述第一撑脚和所述第二撑脚上之后，使所述第一撑脚下移至所述第二高度，之后与所述第二撑脚同时移动，将基板设置于所述固定台位上。