[发明专利]用于基板的支撑装置及其运送基板的方法

权利要求书

1.一种用于基板的支撑装置，包括基台和撑脚结构，通过撑脚结构支撑基板从装载台位移动至固定台位，并通过撑脚结构将基板从固定台位移动至装载台位，其特征在于，所述撑脚结构包括：

多个第一撑脚，包括位于所述装载台位以第一高度竖直设置于基台上的状态，用于支撑基板的中部区域；

多个第二撑脚，在所述第一撑脚的外围分布设置，包括位于所述装载台位以第二高度竖直设置于基台上的状态，用于支撑基板的边缘区域，其中所述第二高度小于等于所述第一高度；

控制结构，用于分别控制所述第一撑脚和所述第二撑脚在所述装载台位与所述固定台位之间的移动，其中当所述第一撑脚和所述第二撑脚到达所述装载台位，基板放置于所述第一撑脚和所述第二撑脚上之后，使所述第一撑脚下移至所述第二高度，之后与所述第二撑脚同时移动，将基板设置于所述固定台位上。

2.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述第二撑脚的顶端直径小于所述第一撑脚的顶端直径。

3.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述第一撑脚和所述第二撑脚还分别包括位于基台内部的状态。

4.如权利要求3所述的支撑装置，其特征在于，所述控制结构包括：

第一控制结构，用于控制所述第一撑脚从基台内部升起至所述第一高度，到达所述装载台位，以及从所述装载台位下移至所述第二高度与所述第二撑脚同高，之后下移至所述固定台位，之后继续下移至位于基台内部；

第二控制结构，用于控制所述第二撑脚从基台内部升起至所述第二高度，到达所述装载台位，以及从所述装载台位下移至所述固定台位，之后继续下移至位于基台内部。

5.如权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置还包括：检测结构，用于当所述第一控制结构使所述第一撑脚升起至所述装载台位，所述基板放置于所述第一撑脚上，所述第二撑脚位于基台内部时，检测所述第二撑脚的顶端到所述基板的垂直距离，使所述第二控制结构根据所述垂直距离使所述第二撑脚升起，到达所述装载台位，所述第二高度与所述垂直距离对应。

6.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述基台上还设置有多个印花电极，竖直设置于所述基台上，且所述印花电极的高度小于所述第一高度和所述第二高度，当所述基板设置于所述第一撑脚和所述第二撑脚上，所述第一撑脚和所述第二撑脚同时降落至位于所述印花电极的高度时，到达所述固定台位，所述基板设置于所述印花电极上。

7.一种采用权利要求1所述支撑装置运送基板的方法，其特征在于，所述方法包括：

使所述第一撑脚升起到所述第一高度到达所述装载台位，同时使所述第二撑脚升起到所述第二高度到达所述装载台位；

所述基板设置于所述第一撑脚和所述第二撑脚上；

使所述第一撑脚下移至所述第二高度与所述第二撑脚同高；

使所述第一撑脚和所述第二撑脚同时下移至所述固定台位，所述基板设置于所述固定台位上。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，当所述基板设置于所述固定台位上之后，还包括：

使所述第一撑脚和所述第二撑脚分别下移至基台内部；

待所述基板在所述固定台位上的操作工作完成后，使所述第一撑脚和所述第二撑脚同时升起，从所述固定台位装载所述基板后，继续向上升起，所述第一撑脚和所述第二撑脚同时升起至所述第二高度，所述第二撑脚停止升起，到达所述装载台位，所述第一撑脚继续升起至所述第一高度，到达所述装载台位。

9.一种采用权利要求1所述支撑装置运送基板的方法，其特征在于，所述方法包括：

使所述第一撑脚升起到所述第一高度到达所述装载台位，将所述基板设置于所述第一撑脚上；

使所述第二撑脚升起到所述第二高度到达所述装载台位；

使所述第一撑脚下移至所述第二高度与所述第二撑脚同高；

使所述第一撑脚和所述第二撑脚同时下移至所述固定台位，所述基板设置于所述固定台位上。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，在将所述基板设置于所述第一撑脚上的步骤之后，还包括：

检测所述第二撑脚的顶端到所述基板的垂直距离，使所述第二撑脚根据所述垂直距离升起，所述第二高度与所述垂直距离对应。

11.如权利要求9所述的方法，其特征在于，当所述基板设置于所述固定台位上之后，还包括：

使所述第一撑脚和所述第二撑脚分别下移至基台内部；

待所述基板在所述固定台位上的操作工作完成后，使所述第一撑脚和所述第二撑脚同时升起，从所述固定台位装载所述基板后，继续向上升起，所述第一撑脚和第二撑脚同时升起至所述第二高度，所述第二撑脚停止升起，到达所述装载台位，所述第一撑脚继续升起至所述第一高度，到达所述装载台位。