[发明专利]结合三维及二维形貌的量测方法及装置

摘要

一种结合三维及二维形貌的量测方法及装置，此量测方法包括以下步骤。首先，经由投射装置，将条纹图案投射至物体表面。接着，藉由多线光电取像系统，接收并储存多线影像。之后，物体与相移装置系统做相对移动，以通过多线光电取像系统撷取多张相位光强影像，相移装置系统包括投射装置及多线光电取像系统。然后，依据相位光强影像决定物点的相位值，并通过三角几何关系将相位值转换为物点所对应的高度，以产生物体的三维形貌。以及，依据相位光强影像重建无相位变化的物体影像，无相位变化的物体影像是呈现物体的二维形貌尺寸。

主权项

一种量测方法，用以量测物体的三维及二维形貌，该物体的表面具有多个物点，其特征在于，该量测方法包括：经由投射装置，将条纹图案投射至该物体的表面；藉由多线光电取像系统，接收并储存多线影像；使物体与相移装置系统做相对移动，以通过该多线光电取像系统撷取多张相位光强影像，该相移装置系统包括该投射装置以及该多线光电取像系统；依据用以获取该物体的二维形貌尺寸的该些相位光强影像决定该些物点的相位值，并通过三角几何关系将该些相位值转换为该些物点所对应的高度，以产生该物体的三维形貌；以及依据用以获取该物体的三维形貌的该些相位光强影像重建无相位变化的物体影像，该无相位变化的物体影像呈现该物体的二维形貌尺寸，该些相位光强影像分别包括多个像素，该些像素分别对应光强值或该些像素分别对应光强值以及影像位置，该重建该无相位变化的物体影像的步骤包括如下三种之一；(1)依据各该相位光强影像的该些像素所对应的光强值，将该些相位光强影像转换为高动态范围二维影像以作为该无相位变化的物体影像，其中将该些相位光强影像转换为高动态范围二维影像的步骤，是依据各该像素对应的光强值及对应的曝光时间将该些相位光强影像转换为高动态范围二维影像；(2)比较该些相位光强影像中具有相同影像位置的像素的光强值，并选择当中的最大光强值作为该无相位变化的物体影像中于该相同影像位置的像素的光强值；(3)对该些相位光强影像中具有相同影像位置的像素的光强值做平均以产生平均光强值，并以该平均光强值作为该无相位变化的物体影像中于该相同影像位置的像素的光强值。