[发明专利]一种改进型单晶炉热屏导流筒在审
| 申请号： | 201310682433.5 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN104711666A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 潘燕萍 | 申请（专利权）人： | 常州市天龙光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种改进型单晶炉热屏导流筒，导流筒本体为倒锥台形，包括外导流筒和内导流筒，所述的外导流筒和内导流筒之间设有填充保温隔热材料的空腔，所述的内导流筒含有真空腔，所述的内导流筒内壁还设有起导流保温作用的导流保温层结构，所述导流筒的下端部内外两侧均设有呈环状均匀分布的若干分流槽。内导流筒的真空腔、内导流筒与外导流筒之间的空腔填充的保温材料、内导流筒设置的倒流保温层结构，这些都有有效地减少了热场热量损失，起到保温隔热的作用；导流筒内外两侧分流槽的设置改变保护气的流动形态，稳定了保护气的流动，降低气体的流动对单晶生长的影响,以上都有效提高了单晶生长的稳定性，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 单晶炉热屏 导流 | ||
【主权项】：
一种改进型单晶炉热屏导流筒，导流筒本体（7）为倒锥台形，包括外导流筒（5）和内导流筒（3），所述的外导流筒（5）和内导流筒（3）之间设有填充保温隔热材料的空腔（4），所述的内导流筒（3）含有真空腔（2），所述的内导流筒（3）内壁还设有起导流保温作用的导流保温层结构（1），其特征在于：所述导流筒（7）的下端部内外两侧均设有呈环状均匀分布的若干分流槽（6）。
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