[发明专利]一种改进型单晶炉热屏导流筒在审
申请号: | 201310682433.5 | 申请日: | 2013-12-12 |
公开(公告)号: | CN104711666A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 潘燕萍 | 申请(专利权)人: | 常州市天龙光电设备有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 何学成 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改进型 单晶炉热屏 导流 | ||
【权利要求书】:
1.一种改进型单晶炉热屏导流筒,导流筒本体(7)为倒锥台形,包括外导流筒(5)和内导流筒(3),所述的外导流筒(5)和内导流筒(3)之间设有填充保温隔热材料的空腔(4),所述的内导流筒(3)含有真空腔(2),所述的内导流筒(3)内壁还设有起导流保温作用的导流保温层结构(1),其特征在于:所述导流筒(7)的下端部内外两侧均设有呈环状均匀分布的若干分流槽(6)。
2.根据权利要求1所述的一种改进型单晶炉热屏导流筒,其特征在于:所述分流槽(6)的径向界面为拱形或其他形状。
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