[发明专利]一种改进型单晶炉热屏导流筒

说明书

技术领域

本发明涉及机械设备技术领域，特别涉及一种改进型单晶炉热屏导流筒。

背景技术

目前为降低单晶生长成本，最有效的办法就是降低热场消耗和提高晶体的生长技术。单单使用内外导流筒并不能有效降低热场的热量损失。另外，在提拉单晶生长工艺过程中，保护气从炉顶进入到炉体中，若单晶棒与导流体之间的气流流动不稳定，将会引起单晶棒的晃动，从而影响单晶的正常生长。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种改进型单晶炉热屏导流筒。

实现本发明的技术方案如下：

一种改进型单晶炉热屏导流筒，导流筒本体为倒锥台形，包括外导流筒和内导流筒，所述的外导流筒和内导流筒之间设有填充保温隔热材料的空腔，所述的内导流筒含有真空腔，所述的内导流筒内壁还设有起导流保温作用的导流保温层结构，所述导流筒的下端部内外两侧均设有呈环状均匀分布的若干分流槽。

所述分流槽的径向界面为拱形或其他形状。

本发明的有益效果是：内导流筒的真空腔、内导流筒与外导流筒之间的空腔填充的保温材料、内导流筒设置的倒流保温层结构，这些都有有效地减少了热场热量损失，起到保温隔热的作用；分流槽的设置改变保护气的流动形态，稳定了保护气的流动，降低气体的流动对单晶生长的影响。以上都有效提高了单晶生长的稳定性，提高了生产效率。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明分流槽结构示意图；

附图中，1为导流保温层结构，2为真空腔，3为内导流筒，4为空腔，5为外导流筒，6为分流槽，7为导流筒本体。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行进一步说明；

参见图1、图2所示，一种改进型单晶炉热屏导流筒，导流筒本体7为倒锥台形，包括外导流筒5和内导流筒3，所述的外导流筒5和内导流筒3之间设有填充保温隔热材料的空腔4，所述的内导流筒3含有真空腔2，所述的内导流筒3内壁还设有起导流保温作用的导流保温层结构1，所述导流筒7的下端部内外两侧均设有呈环状均匀分布的若干分流槽6。

所述分流槽6的径向界面为拱形或其他形状。

在本发明中，分流槽6为12个均匀分布，径向界面为拱形。

内导流筒3的真空腔2、内导流筒3与外导流筒5之间的空腔4填充的保温材料、内导流筒3设置的导流保温层结构1，这些都有有效地减少了热场热量损失，起到保温隔热的作用；导流筒7内外两侧分流槽6的设置改变保护气的流动形态，稳定了保护气的流动，降低气体的流动对单晶生长的影响。以上都有效提高了单晶生长的稳定性，提高了生产效率。

本发明并不局限于所述的实施例，本领域的技术人员在不脱离本发明的精神即公开范围内，仍可作一些修正或改变，故本发明的权利保护范围以权利要求书限定的范围为准。