[发明专利]一种硅片废切割液的提纯方法

摘要

本发明公开了一种硅片废切割液的提纯方法，包括以下步骤：根据硅片废切割液中切割液含量的不同，加入水温度为30—50℃的蒸汽冷凝水，配制切割液的质量百分比为35%—45%的总处理液；然后加入助剂，搅拌均匀后，通过气动隔膜泵打入固液分离装置进行固液分离，通过固液分离装置获得的滤饼以及残渣用蒸汽冷凝水清洗，并且用压缩空气吹干，如此反复几次；对固液分离得到的液体通过蒸馏装置蒸发掉所含的大部分水分，蒸发温度控制在80—130℃，蒸发时间为100—120min，得到主要成分为聚乙二醇的回收切割液。本发明提高了回收切割液的回收率和回收效率，进而减少了资源的浪费；改善了回收切割液的性能，更有利于硅片的切割加工。

主权项

一种硅片废切割液的提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）根据硅片废切割液中切割液含量的不同，加入水温度为30—50℃的蒸汽冷凝水，配制切割液的质量百分比为35%—45%的总处理液；（2）然后加入助剂，搅拌均匀后，通过气动隔膜泵打入固液分离装置进行固液分离，通过固液分离装置获得的滤饼以及残渣用蒸汽冷凝水清洗，并且用压缩空气吹干，如此反复几次；（3）对固液分离得到的液体通过蒸馏装置蒸发掉所含的大部分水分，蒸发温度控制在80—130℃，蒸发时间为100—120min，得到主要成分为聚乙二醇的回收切割液；所述助剂包括下述物质中的一种或多种混合物：非离子表面活性剂：壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、月桂醇、鲸蜡醇、失水山梨醇脂、蔗糖酯中的一种或多种混合物，占总处理液的0.01%‑0.02%；PH调节剂：二乙醇胺、三乙醇胺中的一种或两种混合物，占总处理液的0.0001%‑0.003%；螯合剂：乙二胺四乙酸、氨基三乙酸、二亚乙基三胺五乙酸中的一种或多种混合物，占总处理液的0.0001%‑0.003%；吸附剂：活性炭、硅藻土中的一种或两种混合物，占总处理液的0.4%‑0.6%。