[发明专利]一种硅片废切割液的提纯方法有效
申请号: | 201310665244.7 | 申请日: | 2013-12-09 |
公开(公告)号: | CN103617951A | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 杨涛;米伟勋;杨振东 | 申请(专利权)人: | 天津惠利科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/304 | 分类号: | H01L21/304 |
代理公司: | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人: | 李凤 |
地址: | 301500 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 切割 提纯 方法 | ||
1.一种硅片废切割液的提纯方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)根据硅片废切割液中切割液含量的不同,加入水温度为30—50℃的蒸汽冷凝水,配制切割液的质量百分比为35%—45%的总处理液;
(2)然后加入助剂,搅拌均匀后,通过气动隔膜泵打入固液分离装置进行固液分离,通过固液分离装置获得的滤饼以及残渣用蒸汽冷凝水清洗,并且用压缩空气吹干,如此反复几次;
(3)对固液分离得到的液体通过蒸馏装置蒸发掉所含的大部分水分,蒸发温度控制在80—130℃,蒸发时间为100—120min,得到主要成分为聚乙二醇的回收切割液;
所述助剂包括下述物质中的一种或多种混合物:
非离子表面活性剂:壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、月桂醇、鲸蜡醇、失水山梨醇脂、蔗糖酯中的一种或多种混合物,占总处理液的0.01%-0.02%;
PH调节剂:二乙醇胺、三乙醇胺中的一种或两种混合物,占总处理液的0.0001%-0.003%;
螯合剂:乙二胺四乙酸、氨基三乙酸、二亚乙基三胺五乙酸中的一种或多种混合物,占总处理液的0.0001%-0.003%;
吸附剂:活性炭、硅藻土中的一种或两种混合物,占总处理液的0.4%-0.6%。
2.根据权利要求1所述的硅片废切割液的提纯方法,其特征在于,其特征在于,所述步骤(2)为:加入非离子活性剂和PH调节剂,搅拌均匀后,通过气动隔膜泵将其打入压滤机进行一次固液分离,获得的固体部分用蒸汽冷凝水清洗,压缩空气吹干,得到液体部分加入吸附剂和螯合剂,通过气动隔膜泵将其打入烛式过滤器进行二次固液分离。
3.根据权利要求1所述的硅片废切割液的提纯方法,其特征在于,其特征在于,所述硅片废切割液为太阳能电池硅片切割企业生产加工硅片过程中所产生的一次轻液,主要成分为聚乙二醇,质量百分比含量为55%—90%。
4.根据权利要求1所述的硅片废切割液的提纯方法,其特征在于,其特征在于,所述固液分离装置包括振动筛、压滤机、烛式过滤器、精密过滤器中的一种或几种组合。
5.根据权利要求1所述的硅片废切割液的提纯方法,其特征在于,其特征在于,所述蒸馏装置为蒸发器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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