[发明专利]基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法有效
| 申请号： | 201310634494.4 | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103630336A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;李金鹏;郑东晖;周舒;宋乐;郑权 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱显国 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 发明公开了一种基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法。步骤如下：采用延迟阵列作为动态干涉系统的移相器件，所述延迟阵列包含4个子波片且各子波片分别为λ/4片、λ/2片、3λ/4片、λ片，延迟阵列后方设置透振方向与水平方向夹角为45°的偏振片；在动态干涉仪测试臂中放置标准平面镜，通过CCD采集得到4个线性载频移相干涉图；对每个线性载频移相干涉图进行傅里叶变换，标定延迟阵列各子波片快轴方位角；在动态干涉仪的测试臂中放入待测件，调节待测件的倾斜俯仰及轴向离焦，得到同步移相干涉图；根据标定的各子波片快轴方位角和同步移相干涉图，处理得到待测件的相位分布。该方法快捷简单，适用于采用分光方案的动态干涉仪。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 随机 方位角 延迟 阵列 动态 干涉 测量方法 | ||
【主权项】：
一种基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，采用延迟阵列作为动态干涉系统的移相器件，所述延迟阵列包含4个子波片且各子波片分别为λ/4片、λ/2片、3λ/4片、λ片，延迟阵列后方设置偏振片，该偏振片的透振方向与水平方向夹角为45°；步骤2，在动态干涉仪测试臂中放置标准平面镜，调整标准平面镜的倾斜俯仰使干涉图中的条纹数大于20根，通过CCD采集得到4个线性载频移相干涉图；步骤3，对每个线性载频移相干涉图进行傅里叶变换，标定延迟阵列各子波片快轴方位角；步骤4，在动态干涉仪的测试臂中放入待测件，调节待测件的倾斜俯仰及轴向离焦，得到同步移相干涉图；步骤5，根据步骤3标定的各子波片快轴方位角和步骤4中的同步移相干涉图，处理得到待测件的相位分布。
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