[发明专利]多晶硅反应炉有效
| 申请号： | 201310631805.1 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103663457A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 邱裕明;肖天金 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅反应炉，在该反应炉内壁的垂直方向设置有多个进气口，本发明通过改变反应炉进气口的口径大小或者改变气体流速，进而改善图形密集区和图形疏松区的厚度差异，提升了生产工艺；同时发明不需要大幅度调整更换现有的反应炉设备，也无需变动工艺制程，实现成本较低，适合在各领域广泛推广。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 反应炉 | ||
【主权项】：
一种多晶硅反应炉，所述反应炉内自下而上放置有硅片，其特征在于，所述反应炉内壁在垂直方向上设置有多个进气口，且所述进气口的气体流速相同；其中，自下而上的进气口的口径逐渐递增。
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