[发明专利]监控电子束缺陷扫描仪灵敏度的方法有效
| 申请号： | 201310631529.9 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103645211A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 范荣伟;倪棋梁;龙吟;陈宏璘 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01R35/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陶金龙 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种监控电子束缺陷扫描仪灵敏度的方法，通过于在线产品晶圆上建立一个或多个缺陷测试模块；将通孔中的填充金属平坦化后，以该缺陷测试模块为扫描区域，建立图片抓取程式，并由电子束缺陷扫描仪扫描缺陷测试模块，其中，根据缺陷测试模块中通孔与有源区的接触面积不同，其扫描结果也不同；然后，将缺陷测试模块的扫描结果与预设的标准SRAM结构扫描结果相对比，判断电子束缺陷扫描仪检测缺陷的能力，进而准确、有效的在线监控电子束缺陷扫描仪的灵敏度，保证在线缺陷数据的可靠性和稳定性，从而提高晶圆的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 监控 电子束 缺陷 扫描仪 灵敏度 方法 | ||
【主权项】：
一种监控电子束缺陷扫描仪灵敏度的方法，其特征在于，包括：于在线产品晶圆上建立一个或多个缺陷测试模块，所述缺陷测试模块为标准SRAM结构中改变通孔与有源区的接触面积得到；在所述通孔中的填充金属平坦化后，以所述缺陷测试模块为扫描区域，建立图片抓取程式，通过电子束缺陷扫描仪扫描所述缺陷测试模块，其中，根据所述缺陷测试模块中通孔与有源区的接触面积不同，扫描结果也不同；将所述缺陷测试模块的扫描结果与预设的标准SRAM结构扫描结果相对比，判断所述电子束缺陷扫描仪检测缺陷的能力，进而监控所述电子束缺陷扫描仪的灵敏度。
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