[发明专利]一种薄膜太阳能电池窗口材料SnO2的制备方法

摘要

本发明提供了一种薄膜太阳能电池窗口材料SnO2的制备方法，特别是一种薄膜太阳能电池窗口材料的PECVD制备方法。其技术方案是：用称取适量SnCl2放在反应槽里，和洗净的衬底一起放在样品台上，打开机械泵抽气，抽一定时间后通适量氩气。当真空计显示为200Pa时，在进气端由流量计控制分压，将反应气体氧气和载气氩气的混合气体通入真空室内。调节气体的流量使真空室内的压强保持一个动态平衡。然后打开加热系统加热使SnCl2升华，加热到一定温度后，关闭加热系统，打开电源开关进行放电。待薄膜冷却后对其进行适当的退火处理。该法可以在较高气压下制备薄膜，不需要高真空度，简化了对设备的要求。此外，利用该法制备的SnO2薄膜平整度和附着性都较高、可见光透过率较高和方块电阻较低等优点。

主权项

一种薄膜太阳能电池窗口材料SnO2的制备方法，其特征是：其制备方法为等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)方法。