[发明专利]大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置

摘要

大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置，涉及一种大口径晶体微缺陷修复设备用支撑隔振平台装置。为解决现无与大口径晶体微缺陷修复设备配套使用，能够满足大口径晶体微缺陷修复后的轮廓精度以及高修复表面质量的支撑隔振平台装置问题。空气隔振垫铁与隔振垫连接件连接，隔振垫连接件通过支撑腿与工作平台连接，相邻两个支撑腿与支撑腿连接杆一和二连接，两个支撑腿连接杆一之间连接有中间长连接杆，中间长连接杆和与支撑腿连接杆一之间连接有中间短连接杆；支撑腿连接杆一及中间长连接杆内装有可调辅助支撑组件，可调辅助支撑组件与工作平台连接；挂装连接杆组件与工作平台连接。本发明与大口径晶体微缺陷修复设备配套使用。

主权项

一种大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置，其特征在于：所述大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置包括工作平台（1）、中间长连接杆（36）、中间短连接杆（37）、四个支撑腿连接杆一（16）、四个支撑腿连接杆二（17）、四个主支撑组件（101）、五个可调辅助支撑组件（102）及三个挂装连接杆组件（103）；每个主支撑组件（101）包括隔震垫连接件（6）、支撑腿（7）及空气隔振垫铁（8）；空气隔振垫铁（8）的上端与隔振垫连接件（6）连接，支撑腿（7）设置在隔振垫连接件（6）上，隔振垫连接件（6）与支撑腿（7）连接，四个支撑腿（7）设置在工作平台（1）的下端面的四个角部，四个支撑腿（7）与工作平台（1）连接，相邻两个支撑腿（7）之间通过由上至下并列设置的支撑腿连接杆一（16）和支撑腿连接杆二（17）连接，任意两个相对设置的支撑腿连接杆一（16）之间连接有中间长连接杆（36），中间长连接杆（36）和与其平行设置的一个支撑腿连接杆一（16）之间连接有中间短连接杆（7）；每个支撑腿连接杆一（16）内及中间长连接杆（36）内分别装有一个可调辅助支撑组件（102），可调辅助支撑组件（102）的上端面与工作平台（1）下端面连接；三个挂装连接杆组件（103）设置在工作平台（1）的下方，且三个挂装连接杆组件（103）的上端与工作平台（1）连接。