[发明专利]大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置

权利要求书

1.一种大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置，其特征在于：所述大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置包括工作平台（1）、中间长连接杆（36）、中间短连接杆（37）、四个支撑腿连接杆一（16）、四个支撑腿连接杆二（17）、四个主支撑组件（101）、五个可调辅助支撑组件（102）及三个挂装连接杆组件（103）；每个主支撑组件（101）包括隔震垫连接件（6）、支撑腿（7）及空气隔振垫铁（8）；

空气隔振垫铁（8）的上端与隔振垫连接件（6）连接，支撑腿（7）设置在隔振垫连接件（6）上，隔振垫连接件（6）与支撑腿（7）连接，四个支撑腿（7）设置在工作平台（1）的下端面的四个角部，四个支撑腿（7）与工作平台（1）连接，相邻两个支撑腿（7）之间通过由上至下并列设置的支撑腿连接杆一（16）和支撑腿连接杆二（17）连接，任意两个相对设置的支撑腿连接杆一（16）之间连接有中间长连接杆（36），中间长连接杆（36）和与其平行设置的一个支撑腿连接杆一（16）之间连接有中间短连接杆（7）；每个支撑腿连接杆一（16）内及中间长连接杆（36）内分别装有一个可调辅助支撑组件（102），可调辅助支撑组件（102）的上端面与工作平台（1）下端面连接；三个挂装连接杆组件（103）设置在工作平台（1）的下方，且三个挂装连接杆组件（103）的上端与工作平台（1）连接。

2.根据权利要求1所述大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置，其特征在于：每个可调辅助支撑组件（102）包括辅助支撑平板（20）、螺纹调节件（21）、平板连接件（22）、推力圆柱滚子轴承（23）、螺母一（25）、辅助支撑螺柱（26）及螺母二（27）；

所述平板连接件（22）和螺纹调节件（21）均设有相通的台肩孔和螺纹孔，平板连接件（22）设置在螺纹调节件（21）的上端，平板连接件（22）和螺纹调节件（21）的台肩孔同轴且相对设置，所述每个支撑腿连接杆一（16）内及中间长连接杆（36）内分别装有一个辅助支撑螺柱（26），辅助支撑螺柱（26）的上端与螺纹调节件（21）的螺纹孔旋接，所述推力圆柱滚子轴承（23）套装在辅助支撑螺柱（26）上并设置在平板连接件（22）和螺纹调节件（21）的台肩孔内，平板连接件（22）设置在辅助支撑平板（20）的下端面且二者连接，辅助支撑平板（20）设置在工作平台（1）的下面，辅助支撑平板（20）的上端面与工作平台（1）的下端面连接，螺母一（25）和螺母二（27）均与辅助支撑螺柱（26）旋接，螺母一（25）抵靠在螺纹调节件（21）的下端面，螺母二（27）抵靠在支撑腿连接杆一（16）的下端面。

3.根据权利要求1所述大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置，其特征在于：相邻两个支撑腿（7）的外侧面之间固定有一腿部挡板（3）。

4.根据权利要求1、2或3所述大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置，其特征在于：所述工作平台（1）和支撑腿（7）均由花岗岩材料制成。

5.根据权利要求1所述大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置，其特征在于：所述工作平台（1）为长方形，长方形工作平台（1）的长×宽=1800mm×1650mm，长方形工作平台（1）整体面形精度小于5μm。

6.根据权利要求1所述大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置，其特征在于：所述支撑腿（7）与工作平台（1）之间通过一个直角形连接件（35）连接。

7.根据权利要求1所述大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置，其特征在于：每个挂装连接杆组件（103）包括底部平台连接件（34）、螺母三（30）和盖形螺母（33）；底部平台连接件（34）的上端和下端分别设有螺纹杆，工作平台（1）上设有三个螺纹连接孔，每个底部平台连接件（34）上端螺纹杆与工作平台（1）上相对应的螺纹连接孔旋接，底部平台连接件（34）的下端螺纹杆与螺母三（30）旋接，底部平台连接件（34）的下端与盖形螺母（33）旋接。

8.根据权利要求7所述大口径晶体微缺陷修复设备用多可调支撑隔振平台装置，其特征在于：所述三个螺纹连接孔的中心位于同一圆周上。