[发明专利]一种获得低加工损伤的碳化硅衬底表面的加工方法有效
| 申请号： | 201310625942.4 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103624675A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 高宇;邓树军;陶莹;段聪;赵梅玉 | 申请（专利权）人： | 河北同光晶体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/005 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 071000 河北省保定市北二*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 发明涉及一种获得低加工损伤的碳化硅衬底表面的加工方法，包括以下步骤：先将磨料固化到研磨垫中，得到固定磨料研磨垫，作为研磨介质；再将碳化硅衬底置于固定磨料研磨垫上方，利用研磨设备使固定磨料研磨垫旋转，并加入冷却润滑剂，进行碳化硅衬底表面的加工，得到低加工损伤的碳化硅衬底表面。通过本发明的技术创新，可以大大简化碳化硅衬底加工工艺步骤，降低研发及生产设备投入，提高加工效率，节约磨料、保护人员和环境，得到低加工损伤的碳化硅衬底表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 获得 加工 损伤 碳化硅 衬底 表面 方法 | ||
【主权项】：
一种获得低加工损伤的碳化硅衬底表面的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将磨料固化到研磨垫中，得到固定磨料研磨垫，作为研磨介质；（2）将碳化硅衬底置于固定磨料研磨垫上方，利用研磨设备使固定磨料研磨垫旋转，并加入冷却润滑剂，进行碳化硅衬底表面的加工，得到低加工损伤的碳化硅衬底表面。
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