[发明专利]用于制造电容器的方法及包括该电容器的显示设备

摘要

提供了一种用于制造电容器的方法及包括该电容器的显示设备。该显示设备位于基板上，并包括薄膜晶体管、连接到薄膜晶体管的显示器件以及电容器，薄膜晶体管包括有源层、栅电极以及源电极和漏电极。该方法包括：在基板上形成电极层；在电极层上形成钝化层；图案化钝化层，以形成包括彼此平行的多个第一分支图案的第一图案，以及形成包括彼此平行并被插入在多个第一分支图案之间的多个第二分支图案的第二图案；以及通过使用第一图案和第二图案作为掩膜蚀刻电极层来形成第一电极和第二电极。

主权项

1.一种制造显示设备的电容器的方法，所述显示设备位于基板上，并且所述显示设备包括薄膜晶体管、所述电容器以及电连接到所述薄膜晶体管的显示器件，所述薄膜晶体管包括有源层、栅电极、源电极和漏电极，该方法包括：在所述基板上形成电极层；在所述电极层上形成钝化层；图案化所述钝化层，以形成包括彼此平行的多个第一分支图案的第一图案，以及形成包括彼此平行并被插入在所述多个第一分支图案之间的多个第二分支图案的第二图案；以及通过使用所述第一图案和所述第二图案作为掩膜蚀刻所述电极层，以与所述有源层、所述栅电极、以及所述源电极和所述漏电极中的任意一个在相同的层中形成所述电容器的第一电极和第二电极；其中所述第一图案和所述第二图案包括无机材料。