[发明专利]一种微机械横向振动加速度开关

摘要

本发明提供一种微机械水平横向振动加速度开关，涉及微机电系统领域，由绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块组成。所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧，固定于绝缘衬底上，通过折叠梁与检测质量块连接，使折叠梁和检测质量块悬空于绝缘衬底上方；所述触头包括固定触头和可动触头；所述固定触头位于检测质量块的水平横向方向两侧，固定于绝缘衬底上；所述可动触头与检测质量块为一体结构，位于检测质量块的水平横向方向两侧，为凸起的台阶；所述凸台型结构与检测质量块为一体结构，位于检测质量块的水平纵向方向两侧，为凸起的台阶。本发明结构简单，制作容易，可有效改善加速度开关的接触性能，提高加速度开关的闭合阈值精度以及抗冲击性能，在微机电系统领域有广泛的应用前景。

主权项

一种微机械水平横向振动加速度开关，其特征在于，包括绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块；所述检测质量块悬空于绝缘衬底上方；所述折叠梁为水平方向一折或多折结构，位于检测质量块的水平横向方向两侧，一端与检测质量块连接，另一端与锚点连接，悬空于绝缘衬底上方；所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧，固定于绝缘衬底上，通过折叠梁与检测质量块连接；所述触头包括固定触头和可动触头；所述固定触头位于检测质量块的水平横向方向两侧，固定于绝缘衬底上；固定触头上方以及正对可动触头一侧制备有电极金属层，作为开关的固定电极；所述可动触头与检测质量块为一体结构，为检测质量块的水平横向方向两侧凸起的台阶，与固定触头之间留有间隙，构成开关结构，并同时与固定触头组成开关横向敏感方向的过载保护结构；可动触头正对固定触头的一侧以及检测质量块、折叠梁和锚点的上方制备有电极金属层，作为开关的可动电极；所述凸台型结构与检测质量块为一体结构，为检测质量块的水平纵向方向两侧凸起的台阶，与锚点之间留有间隙，与锚点组成开关横向非敏感振动方向的过载保护结构。