[发明专利]一种自动降低缺陷检测噪声的方法

摘要

本发明涉及大规模集成电路制造领域，尤其涉及一种自动降低缺陷检测噪声的方法，应用于新创建缺陷检测程序的工艺中，通过将优化后的缺陷分类数据及时的反馈给缺陷检测设备，以对缺陷检测程序进行优化，在经过几个批次晶圆的自动调整后，该缺陷检测程序的灵敏度可自动调整至一个合理的范围，即与实际的工艺参数相适应，进而实现在生产上对大量晶圆的缺陷进行有效观测，以大幅度的提高生产的效率及工程判断的正确性。

主权项

一种自动降低缺陷检测噪声的方法，其特征在于，所述方法包括： 提供一用于缺陷检测的晶圆和一存储有原始缺陷分类数据的服务器； 缺陷检测设备调取所述原始缺陷分类数据，对所述晶圆进行缺陷检测，并输出缺陷数据至缺陷观测设备； 所述缺陷观测设备对所述缺陷数据进行分类后，输出缺陷分类数据至所述服务器； 所述服务器对该缺陷分类数据进行优化后，对所述原始缺陷分类数据进行更新，生成新的缺陷分类数据； 所述缺陷检测设备调取所述新的缺陷分类数据，并根据该新的缺陷分类数据对缺陷检测程序进行更新后，继续对另一用于缺陷检测的晶圆进行缺陷检测。