[发明专利]在玻璃基板上化学镀铜的方法在审
| 申请号： | 201310596259.2 | 申请日： | 2013-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN103613289A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 孙瑜;于中尧 | 申请（专利权）人： | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/38 | 分类号： | C03C17/38;C23C18/18 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 任益 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在玻璃基板上化学镀铜的方法，该方法包括：在玻璃基板上涂覆一层有机薄膜，晾干后再采用传统化学镀铜工艺方法沉积铜层。其中有机薄膜制备方法包括以下步骤：（1）将有机薄膜材料以0.1%-20%体积百分比溶解于易挥发有机溶剂中；（2）将所述有机溶剂以旋涂、喷涂、浸泡或涂刷方法涂覆于玻璃基板上；（3）待涂覆了所述有机溶剂的玻璃基板烘干或晾干（4）将玻璃基板采用有机薄膜材料的材料特性进行亚胺化或者高温固化。本发明解决了现有工艺与基板工艺不兼容的问题，提高了铜与玻璃基板之间的粘附性，减小基板上线路对高频电性能的影响，并提高线路与基板的结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 基板上 化学 镀铜 方法 | ||
【主权项】：
一种在玻璃基板上化学镀铜的方法，其特征在于，该方法包括：在玻璃基板上涂覆一层有机薄膜，晾干后再采用传统化学镀铜工艺方法沉积铜层；其中有机薄膜制备方法包括以下步骤：（1）将有机薄膜材料以0.1%‑20%体积百分比溶解于易挥发有机溶剂中；（2）将所述有机溶剂以旋涂、喷涂、浸泡或涂刷方法涂覆于玻璃基板上；（3）待涂覆了所述有机溶剂的玻璃基板烘干或晾干；（4）将玻璃基板采用有机薄膜材料的材料特性进行亚胺化或者高温固化。
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