[发明专利]一种高效率太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种高效率太阳能电池的制备方法，该高效率太阳能电池的制备方法包括以下步骤：清洗制绒；三氯氧磷液态源扩散；干法刻蚀；去除PSG，清洗液配制；减反射膜制备-PECVD；丝网印刷，背电极印刷，1号烘箱，背电场印刷，2号烘箱，正电极印刷，烧结，测试分选；组件，电池片分选、单片焊接、串联焊接、叠层、层压、装框、清洗、电性能测试、包装入库。本发明通过POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高，得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好。本发明的工艺成品率较高，产生的缺陷和位错较少，形成的欧姆接触，接触电阻小，具有优良的导电性，纯度适当，化学稳定性好。

主权项

一种高效率太阳能电池的制备方法，其特征在于，该高效率太阳能电池的制备方法包括以下步骤：步骤一，清洗制绒，首先领料，然后保持片盒干净，片盒底垫上海绵进行插片，将已插好硅片的片盒整齐、有序的装入包塑的不锈钢花篮中，片盒之间有相应的间隔；硅片插完后，取掉片盒底部的海绵，扣好压条；分别加入异丙醇、添加剂、HF酸、HCl进行脱水、去金属离子，最后配槽，制绒清洗，甩干；步骤二，三氯氧磷液态源扩散：清洗、饱和、升温、装片、进炉、稳定、通氧气、通源、吹氮、出炉、卸片、检验； 步骤三，干法刻蚀，首先，母体分子CF4在高能量的电子的碰撞作用下分解成多种中性基团或离子， 以及离子，活性粒子由于扩散或者在电场作用下到达表面，并在表面上掺入O2发生化学反应；步骤四，去除PSG，清洗液配制，装片，开机，投片清洗，甩干；步骤五，减反射膜制备‑PECVD，石墨舟及硅片准备，管内充氮气，进舟，抽真空、压力测试，NH3预清理和检查，管路抽真空、测漏、恒温，NH3清理，镀膜，抽真空、压力测试，清管路、充氮气，退舟；步骤六，丝网印刷，背电极印刷，1号烘箱，背电场印刷，2号烘箱，正电极印刷，烧结，测试分选；步骤七，组件，电池片分选、单片焊接、串联焊接、叠层、层压、装框、清洗、电性能测试、包装入库。