[发明专利]一种高效率太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种高效率太阳能电池的制备方法，其特征在于，该高效率太阳能电池的制备方法包括以下步骤：

步骤一，清洗制绒，首先领料，然后保持片盒干净，片盒底垫上海绵进行插片，将已插好硅片的片盒整齐、有序的装入包塑的不锈钢花篮中，片盒之间有相应的间隔；硅片插完后，取掉片盒底部的海绵，扣好压条；分别加入异丙醇、添加剂、HF酸、HCl进行脱水、去金属离子，最后配槽，制绒清洗，甩干；

步骤二，三氯氧磷液态源扩散：清洗、饱和、升温、装片、进炉、稳定、通氧气、通源、吹氮、出炉、卸片、检验； 

步骤三，干法刻蚀，首先，母体分子CF₄在高能量的电子的碰撞作用下分解成多种中性基团或离子， 以及离子，活性粒子由于扩散或者在电场作用下到达表面，并在表面上掺入O₂发生化学反应；

步骤四，去除PSG，清洗液配制，装片，开机，投片清洗，甩干；

步骤五，减反射膜制备-PECVD，石墨舟及硅片准备，管内充氮气，进舟，抽真空、压力测试，NH₃预清理和检查，管路抽真空、测漏、恒温，NH₃清理，镀膜，抽真空、压力测试，清管路、充氮气，退舟；

步骤六，丝网印刷，背电极印刷，1号烘箱，背电场印刷，2号烘箱，正电极印刷，烧结，测试分选；

步骤七，组件，电池片分选、单片焊接、串联焊接、叠层、层压、装框、清洗、电性能测试、包装入库。

2.如权利要求1所述的高效率太阳能电池的制备方法，其特征在于，制绒的化学方程式为：Si+2NaOH+H₂O →Na₂SiO₃ +2H₂↑，为各向异性反应，温度范围为75℃~90℃，制绒包括金字塔的成核及长大过程。

3.如权利要求1所述的高效率太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤二的具体方法为： 

第一步，清洗，初次扩散前，扩散炉石英舟首先连接TCA装置，当炉温升至设定温度，以设定流量通TCA 60分钟清洗石英管，清洗结束后，将石英管连接扩散源瓶，待扩散；正常生产时，每周进行两次TCA清洗，时间30分钟；清洗开始时，先开O₂，再开TCA；清洗结束后，先关TCA，再关O₂；

第二步，饱和：如果不连续生产，则每天正式生产前，须对石英管进行饱和，即正式的扩散工艺，把石英舟放入石英管，进行一次扩散，炉温升至设定温度时，以设定流量通小N₂和O₂，使石英管饱和，20分钟后，关闭小N₂和O₂；初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产时，需使石英管在950℃通源饱和1小时以上；

第三步，打开大N₂，调节气体流量到指定数，然后开始使炉子升温，升到880℃~900℃，装片整个扩散从升温到出炉一直通大N₂ ；

第四步，戴好防护口罩和干净的塑料手套，将清洗甩干的硅片从传递窗口取出，放在洁净台上，用teflon夹子依次将硅片从硅片盒中取出，双面扩散一个槽插入一片，单面扩散一个槽插入背靠背两片；

第五步，用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂浆上，保证平稳，由步进电机缓缓推入扩散炉，进炉的时间控制在5分钟；

第六步，稳定炉管，使炉管内温度达到工艺设定值，管内气体趋于稳定；

第七步，通氧气：稳定时通入定量氧气，使硅片表面形成一层SiO₂，使扩散速度更均匀，前氧适用于多晶工艺；

第八步，通源，待炉管温度均升到设定温度，通入小氮，携带磷源的少量氮气及氧气，设定气体流量及通入时间，通源是磷在硅片表面扩散的过程，小氮的气体压力小于3.5KG，控制在2KG以下；

第九步，吹氮，通源指定时间后，关闭小氮，通入大氮，进行驱入，驱入是磷向硅片内部扩散，扩结深，同时降低表面浓度，驱入时通入定量氧气，可与管内残留的磷源充分反应，并可与管内的五氯化磷反应，避免腐蚀硅片表面；

第十步，出炉检验，驱入指定时间后，将碳化硅臂桨退出炉管，待石英舟冷却用石英舟叉抬下，从炉口到炉尾的顺序均匀抽取六片硅片进行方阻测试，检验合格后可卸片，不合格返工。