[发明专利]防止残留液体滴落的管道有效
| 申请号： | 201310567168.6 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104624431B | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 肖东风;贾照伟;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/00 | 分类号： | B05C11/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种防止残留液体滴落的管道，包括：供液管道、套管及抽真空装置。供液管道具有进液口和出液口；套管套设在供液管道的外面，套管的内壁与供液管道的外壁之间具有空隙，供液管道的进液口从套管的端部伸出，套管的端部与供液管道之间密封连接，供液管道的出液口位于套管内，供液管道的出液口与套管的管口之间间隔一定距离；抽真空装置与套管连通，抽真空装置对套管抽真空。本装置能够实现供液管道内的残留液体在滴落出套管管口之前，通过对套管抽真空，将残留液滴从套管的内壁与供液管道的外壁之间的空隙中吸走，防止供液管道中残留液体滴落。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 残留 液体 滴落 管道 | ||
【主权项】：
1.一种防止残留液体滴落的管道，其特征在于，包括：供液管道，所述供液管道具有进液口和出液口；套管，所述套管套设在供液管道的外面，套管的内壁与供液管道的外壁之间具有空隙，供液管道的进液口从套管的端部伸出，套管的端部与供液管道之间密封连接，供液管道的出液口位于套管内，供液管道的出液口与套管的管口之间间隔一定距离；及抽真空装置，所述抽真空装置与套管连通，抽真空装置对套管抽真空。
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