[发明专利]防止残留液体滴落的管道有效
| 申请号: | 201310567168.6 | 申请日: | 2013-11-14 |
| 公开(公告)号: | CN104624431B | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
| 发明(设计)人: | 肖东风;贾照伟;王坚;王晖 | 申请(专利权)人: | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号: | B05C11/00 | 分类号: | B05C11/00 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆嘉 |
| 地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 防止 残留 液体 滴落 管道 | ||
1.一种防止残留液体滴落的管道,其特征在于,包括:
供液管道,所述供液管道具有进液口和出液口;
套管,所述套管套设在供液管道的外面,套管的内壁与供液管道的外壁之间具有空隙,供液管道的进液口从套管的端部伸出,套管的端部与供液管道之间密封连接,供液管道的出液口位于套管内,供液管道的出液口与套管的管口之间间隔一定距离;及
抽真空装置,所述抽真空装置与套管连通,抽真空装置对套管抽真空。
2.根据权利要求1所述的防止残留液体滴落的管道,其特征在于,所述抽真空装置为文丘里管。
3.根据权利要求1所述的防止残留液体滴落的管道,其特征在于,所述抽真空装置包括连接管道及压缩气体管道,连接管道的一端与套管连通,连接管道的另一端位于压缩气体管道内,压缩气体管道具有进气口和出气口。
4.根据权利要求3所述的防止残留液体滴落的管道,其特征在于,进一步包括第一开关阀,所述第一开关阀设置在供液管道上,所述抽真空装置包括第二开关阀,所述第二开关阀设置在压缩气体管道上,在关闭第一开关阀之前至之后的一时间段内,打开第二开关阀,压缩气体进入压缩气体管道,以对套管抽真空。
5.根据权利要求4所述的防止残留液体滴落的管道,其特征在于,所述时间段由供液管道的出液口与套管的管口之间的高度差决定。
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