[发明专利]沉积装置、形成薄膜的方法及制造显示装置的方法有效
| 申请号： | 201310556660.3 | 申请日： | 2013-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN104099572B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 金善浩;许明洙;李正浩;赵喆来;朱儇佑;李勇锡 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 王占杰;韩芳 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种沉积装置，构造为对基底执行沉积工艺，所述沉积装置包括：腔室，在表面中具有排放开口；沉积源，位于腔室中，构造为向基底喷射一种或多种沉积材料；冷却板，对应于腔室的内表面，排放开口形成在冷却板处；冷冻机，接触冷却板；以及泵，结合到排放开口。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 形成 薄膜 方法 制造 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种沉积装置，所述沉积装置被构造为对基底执行沉积工艺，所述沉积装置包括：腔室，在腔室的内部的第一表面中具有排放开口；沉积源，位于腔室中，构造为向基底喷射一种或多种沉积材料，沉积源面对基底，沉积源或基底在沉积工艺期间能够移动；多个冷却板，位于腔室的第一表面处，排放开口形成在冷却板处，冷却板用来捕获腔室中剩余的沉积材料，冷却板布置为围绕排放开口；多个冷冻机，每个冷冻机通过衬垫结合到对应的冷却板的底表面，冷却板的底表面面对腔室的第一表面；泵，结合到排放开口；多个加热构件，每个加热构件位于对应的冷却板和腔室的第一表面之间，每个加热构件与冷却板的底表面的一部分接触，并具有与对应的冷冻机隔开的U形弯曲；以及多对支撑杆，每对支撑杆位于对应的冷却板和腔室的第一表面之间，并且沿冷却板的长度方向延伸，对应的加热构件布置在成对的支撑杆之间的分隔空间中，其中，每对支撑杆沿着长度方向伸长以延伸到对应的冷却板的两个相对的端部之外。
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