[发明专利]交互式半自动光栅表面缺陷检测装置及使用该装置的方法

摘要

交互式半自动光栅表面缺陷检测装置及使用该装置的方法，它涉及一种缺陷检测装置及使用该装置的方法。本发明为了解决现有的光栅表面缺陷检测装置，具有检测精度低、检测效率低、抗干扰性差以及成本高的问题。装置：运动控制柜、光栅表面展开单元和第一图像采集系统单元由左至右依次并列设置在检测工作台上，第二图像采集系统单元与第一图像采集系统单元连接；本发明的缺陷检测方法，具有自动化程度高、检测精度高、检测效率高、客观性强和不易眼疲劳的优点，通过驱动电动二维平移台来实现光栅待检位置的对准，相对于手动对准，具有客观性强、定位精度高和稳定性好的优点。本发明用于交互式半自动光栅表面缺陷检测。

主权项

一种交互式半自动光栅表面缺陷检测装置，它包括检测工作台（1），其特征在于：所述表面缺陷检测装置还包括运动控制柜（2）、光栅表面展开单元、第一图像采集系统单元和第二图像采集系统单元，运动控制柜（2）、光栅表面展开单元和第一图像采集系统单元由左至右依次并列设置在检测工作台（1）上，第二图像采集系统单元与第一图像采集系统单元连接，所述运动控制柜（2）包括安全保护组件（3）、参数输入器（4）、数值显示器（5）、光源控制器（6）、旋转控制器（7）和位移控制器（8），安全保护组件（3）、参数输入器（4）和数值显示器（5）由下至上依次设置，光源控制器（6）、旋转控制器（7）和位移控制器（8）由上至下依次设置在安全保护组件（3）、参数输入器（4）和数值显示器（5）的一侧，所述光栅表面展开单元包括光栅展开机构（9）和电动二维平移台（10），电动二维平移台（10）设置在检测工作台（1）上，光栅展开机构（9）设置在电动二维平移台（10）上，所述第一图像采集系统单元包括立柱（11）、立柱接头（12）、横杆（15）、CCD工业相机（17）、相机固定接头（16）、纤维镜头（19）和反射光源（18），立柱（11）竖直设置在检测工作台（1）上，立柱接头（12）设置在立柱（11）的上部，横杆（15）水平设置，且横杆（15）的一端与立柱接头（12）连接，横杆（15）的另一端设有相机固定接头（16），相机固定接头（16）的上端和下端分别设有CCD工业相机（17）和纤维镜头（19），纤维镜头（19）的下端设有反射光源（18），所述第二图像采集系统单元包括图像采集卡（22）、工控机（23）和图像显示器（29），图像采集卡（22）、工控机（23）和图像显示器（29）依次与CCD工业相机（17）连接。