[发明专利]具有隔振功能的MEMS矢量水听器封装结构

摘要

本发明为一种具有隔振功能的MEMS矢量水听器封装结构，该封装结构减小了工作环境对MEMS矢量水听器性能指标的影响。该装置包括内设放大电路板的外支柱、软支柱、支撑底盘和透声帽，支撑底盘上安装有软支座，软支座包括设有缓冲孔和缓冲凸块的支撑柱体，支撑柱体顶部设有底板和安装槽，安装槽内安装有MEMS矢量水听器。检测时，工作平台的振动噪声通过外支柱向MEMS水听器传播的路径上，外支柱可以阻隔掉噪声中高于软支撑结构固有频率的大部分噪声成分，软支座可以滤除掉部分未被软支撑隔掉的振动噪声。本发明开创性地利用封装材料的特性和结构设计来实现对水听器的隔振要求，设计结构简单，隔振效果明显。

主权项

一种具有隔振功能的MEMS矢量水听器封装结构，包括外支柱（1），外支柱（1）内部设有轴向的第一引线孔（1‑1）以及与第一引线孔（1‑1）相通的安置腔（1‑2），安置腔（1‑2）的腔口位于外支柱（1）底部，外支柱（1）的底部螺纹连接有用于封堵安置腔（1‑2）的堵头（2），安置腔（1‑2）内安装有放大电路板（3）；外支柱（1）的顶部螺纹连接有软支柱（4），软支柱（4）内部设有轴向的且与外支柱（1）内第一引线孔（1‑1）相通的第二引线孔（4‑1），软支柱（4）的顶部螺纹连接有支撑底盘（5），支撑底盘（5）上开设有与软支柱（4）内第二引线孔（4‑1）相通的第三引线孔（5‑1），支撑底盘（5）上靠近边缘的位置设有环形卡槽（5‑2），环形卡槽（5‑2）内固接有透声帽（6），透声帽（6）内注充有硅油（7）；其特征在于：透声帽（6）内还设有软支座（8），软支座（8）包括支撑柱体（8‑1），支撑柱体（8‑1）上开设有轴向的通孔（8‑2），支撑柱体（8‑1）的侧壁上均布有四个与通孔（8‑2）相通的缓冲孔（8‑3），支撑柱体（8‑1）的顶面上位于每个缓冲孔（8‑3）正上方的位置各设有一个缓冲凸块（8‑4），四个缓冲凸块（8‑4）顶部共同固定有一个底板（8‑5），底板（8‑5）上开设有与支撑柱体（8‑1）上通孔（8‑2）相通的第四引线孔（8‑6），底板（8‑5）上表面还设有安装槽（8‑7）；软支座（8）的支撑柱体（8‑1）底部固定在支撑底盘（5）上表面中心处，支撑柱体（8‑1）的通孔（8‑2）与支撑底盘（5）的第三引线孔（5‑1）相通；软支座（8）的底板（8‑5）上位于安装槽（8‑7）内的位置安装有MEMS矢量水听器（9），MEMS矢量水听器（9）的输出端通过导线（10）依次穿过软支座（8）底板（8‑5）上的第四引线孔（8‑6）、软支座（8）支撑柱体（8‑1）的通孔（8‑2）、支撑底盘（5）的第三引线孔（5‑1）、软支柱（4）的第二引线孔（4‑1）、外支柱（1）的第一引线孔（1‑1）后与外支柱（1）安置腔（1‑2）内的放大电路板（3）输入端连接，放大电路板（3）的输出端通过导线（10）穿过堵头（2）后和输出电缆（11）连接；外支柱（1）、软支柱（4）、支撑底盘（5）、软支座（8）和透声帽（6）均位于同一轴线上。