[发明专利]一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用有效
| 申请号： | 201310499686.9 | 申请日： | 2013-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN104557552A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 李嫕;郝青山;陈金平;曾毅;于天君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | C07C69/96 | 分类号： | C07C69/96;C07C68/00;C07C67/31;C07C69/712;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张文祎 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用。所述星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃，具有如下分子结构：。该分子玻璃合成过程简单，适用于工业化生产，四苯基乙烯具有刚性结构的空间立体几何骨架，可以有效地抑制分子的结晶，易于成膜，该分子玻璃在各种极性溶剂中均有好的溶解性，且具有玻璃化温度高，热稳定性好的特点，能够更好的满足光刻工艺的要求。采用旋涂法（Spin Coating）可制得良好的薄膜，可作为光刻胶与其他的添加剂配合制成正性光刻胶用于光刻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 星形 苯基 乙烯 衍生物 分子 玻璃 光刻 涂层 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃，其特征在于，具有如下分子结构：其中，取代基R为酸敏感性取代基团。
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